KLA公司全系列的力學測試產品均采用電磁驅動原理的加載力激發(fā)器， iMicro高精度微納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅動原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設計，保證全系列納米力學產品在整個量程范圍內均能得到高精準、高分辨的控制。1000mN載荷范圍，6nN加載精度，0.04nm位移精度。
? 快速精準的動態(tài)納米壓痕測試
? 電磁加載方式
? 快速精準的位移測量
? 超高框架剛度
? 熱漂移 <0.05nm/s
上海納騰儀器有限公司是一家專注于為微納米科學領域提供綜合性解決方案，為
全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供*的微納米科學儀器。
目前上海納騰已成為國內少數(shù)幾家專業(yè)提供微納米科學儀器的企業(yè)，在微納加工儀器，微納表征儀器，微納儀器耗材，微納加工測試等相關領域，擁有一支經驗豐富、技術過硬的團隊。能夠出色地完成售中、售后的服務。
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