低溫等離子廢氣凈化器作用還具備顯著的生物效應。發(fā)作的靜電作用在各種細菌、病毒等微生物外表產生的電能剪切力大于細胞膜外表張力，使細胞膜遭到毀壞，招致微生物死亡。因而低溫等離子體除臭技術具有的消毒殺菌之成效。

低溫等離子廢氣凈化器在廢氣處置工程中的應用較為普遍。

氣體搜集系統(tǒng)—預處置噴淋洗濯系統(tǒng)—低溫等離子凈化系統(tǒng)—深度氣體吸附催化系統(tǒng)—排放系統(tǒng)—控制系統(tǒng)氣體搜集系統(tǒng)主要是將構筑物自在揮發(fā)的氣體搜集起來并保送到后續(xù)處置系統(tǒng)。詳細包括氣罩系統(tǒng)、管道保送系統(tǒng)微風機。

低溫等離子廢氣凈化器內部裝有的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣搜集系統(tǒng)搜集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化安裝，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態(tài)氧將其中的廢氣離子停止電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所搜集并流入和堆積到氣體處置安裝的儲塵箱內，氣體內的有害氣體被電場內所產生的臭氧所殺菌，并去除了異味，有害氣體被除掉,到達廢氣處置的目的。

低溫等離子廢氣凈化器其凈化作用機理包含兩個方面：一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的霎時足夠翻開一些有害氣體分子的化學能，使之合成為單質原子或無害分子；二是等離子體中包含大量的電子、正負離子、激起態(tài)粒子和具有強氧化性的自在基，這些活性粒子和局部臭氣分子碰撞分離，在電場作用下，使臭氣分子處于激起態(tài)。當臭氣分子取得的能量大于其分子鍵能的分離能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接合成成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量?OH、?HO2、?O等活性自在基和氧化性的O3，與有害氣體分子發(fā)作化學反響，終生成無害產物。

等離子體中的電子可使電負性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負離子，它具有許多良好的安康效應，對人體及其他生物的生命活動有著非常重要的影響，被人們譽為“空氣維生素”、“短命素”。