凈化車間 潔凈廠房
潔凈室設(shè)計(jì)的潔凈室建筑平面布置要注意平面形狀的簡潔,功能分區(qū)明確,管線隱蔽空間的合理分布,生產(chǎn)工藝和設(shè)備更新的靈活性以及防火疏散的安全性等向題。
潔凈廠房建筑平面組合形式常采用貼鄰、塊狀、圍合等組合方式。根據(jù)不同的跨度、高度和柱網(wǎng)來組織空間。在具體平面布置時(shí)要考慮下列情況。
一、潔凈室與一般生產(chǎn)室分區(qū)集中布置
對(duì)于潔凈廠房來說,有空氣潔凈度要求的生產(chǎn)房間往往僅為部分工序或者部分部件的生產(chǎn)區(qū),即使是全部產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)要求具有不同等級(jí)的潔凈室(區(qū)),但潔凈廠房內(nèi)還有生產(chǎn)輔助用房、公用動(dòng)力和凈化空調(diào)機(jī)房等為一般環(huán)境,所以潔凈廠房內(nèi)部往往兼有潔凈生產(chǎn)環(huán)境和一般生產(chǎn)環(huán)境。各類產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室要求的空氣潔凈度等級(jí)是決定潔凈生產(chǎn)區(qū)平面布置的主要因素。在進(jìn)行綜合性廠房的平面布局時(shí),一般應(yīng)將潔凈室(區(qū))與一般生產(chǎn)環(huán)境的房間分區(qū)集中布置,以有利于人流、物流的安排和防止污染和交又污染,也有利于凈化空調(diào)系統(tǒng)及其管線的布置和減少建筑面積等。
二、潔凈室及其公用動(dòng)力設(shè)施的布置
凈化空調(diào)系統(tǒng)、水、氣凈化裝置和電氣裝置是清潔廠房的重要組成部分。它們的面積在潔凈廠房建造中占有較大比例。這些潔凈廠房的規(guī)模、設(shè)備特點(diǎn)、位置及其配水管網(wǎng)的布置對(duì)潔凈廠房的空間組合和規(guī)模有很大的影響。為了取得良好的使用效果和經(jīng)濟(jì)性，有必要解決它們與生產(chǎn)過程之間的布局關(guān)系。
1、集中設(shè)置，該類機(jī)房在廠區(qū)內(nèi)的位置布置主要針對(duì)生產(chǎn)工藝布置的特點(diǎn)和要求，以及供、回風(fēng)管道的長度。當(dāng)廠房面積不大、系統(tǒng)簡單、管線交叉不多時(shí),可將送回風(fēng)干管布置在上部技術(shù)夾層;當(dāng)廠房的面積較大、較長,或者系統(tǒng)劃分較多時(shí),宜沿廠房長邊布置機(jī)房,每個(gè)系統(tǒng)可以直接與所服務(wù)的潔凈室對(duì)應(yīng)排列;當(dāng)采用頂部技術(shù)夾層時(shí),送回風(fēng)干管走向與屋頂承重構(gòu)件方向相平行,可以究分利用空間。有的潔凈室工程,將機(jī)房設(shè)置在技術(shù)夾層的頂部,不僅縮短了風(fēng)管長度而且節(jié)省了用地。
2、分散設(shè)置、工廠建筑面積大或生產(chǎn)區(qū)域太分散，計(jì)算機(jī)房集中安裝使布置困難，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，也可分為若干機(jī)房。在技術(shù)改造工程中,往往因原有房屋空間條件所限,需將凈化空調(diào)設(shè)備分散設(shè)置在各潔凈室的附近。分散設(shè)置方式的風(fēng)管短,布置靈活,較能適應(yīng)和利用原有空間,但在實(shí)際應(yīng)用時(shí)應(yīng)充分考慮噪聲與振動(dòng)對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)可能帶來的影響。
3、混合設(shè)置：在一些項(xiàng)目中，大部分清潔生產(chǎn)區(qū)安裝的凈化空調(diào)裝置既采用集中凈化空調(diào)機(jī)房，又在特定的局部空間采用分散式凈化空調(diào)裝置，以滿足生產(chǎn)工藝的需要。它具有集中和分散的特點(diǎn)，更經(jīng)濟(jì)、更靈活，滿足了產(chǎn)品生產(chǎn)的要求。
近年來,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用潔凈廠房中常常采用隧道式送風(fēng)、集中送風(fēng)和風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU）送風(fēng)方式,各類機(jī)房的布置基本采用“混合設(shè)置”的方式,即新風(fēng)處理機(jī)集中設(shè)置,循環(huán)空氣機(jī)組分散設(shè)置。
三、潔凈室在布置時(shí),應(yīng)盡量避開變形縫,以利維護(hù)結(jié)構(gòu)的密閉性
為了保證潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密性(抗?jié)B性)，避免裂縫，除了圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選擇和結(jié)構(gòu)處理外，還應(yīng)使主體結(jié)構(gòu)具有良好的抗震性能、溫度變形控制性能和基礎(chǔ)不均勻沉降性能。在地震多發(fā)區(qū)，主體結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的整體性和足夠的剛度，潔凈室主體結(jié)構(gòu)應(yīng)盡量受力均勻，車間變形縫應(yīng)盡量避免穿過潔凈區(qū)。
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