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廣電計量檢測集團股份有限公司

反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱堀場儀器(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2022/8/12 14:44:05
  • 訪問次數(shù)201
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反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列
反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列 產(chǎn)品信息
  • 概要
  • 規(guī)格

概要

EC-5000系列產(chǎn)品是由一套排氣壓力控制器所組成,此裝置可保證反應室的壓力值始終穩(wěn)定在客戶要求的設定范圍。高分辨度的步進式馬達和蝶形閥設計確保了本產(chǎn)品的高速、高分辨度響應。

特征

  •  適合高真空環(huán)境使用:不銹鋼質(zhì)本體
  • 抗腐蝕

     

  • 使用PTFE(聚四氟乙烯)制作的本體也可以提供

     

  • 適合對于腐蝕性氣體的使用

     

  •  

當排氣端流量被調(diào)整到的位置:

  • 抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的

     

  • 阻止了噴霧的次級沉積

     

  • 阻止了危險水蒸氣的擴散

    此外,與流量傳感器控制方式相比較而言,因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產(chǎn)品造成的影響更小

    此產(chǎn)品屬于受日本法律管制的出口品(列于控制清單之上)。在從日本出口到海外或者供應給非日本企業(yè)前,必需從日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的相關(guān)部門獲得出口許可證件。


規(guī)格

Model                   EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

* This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.

產(chǎn)品相關(guān)圖及其它

反應腔室排氣壓力控制器   EC-5000系列
15168338725
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