PE-100是一款完整的等離子清洗系統(tǒng)或是反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng), 帶真空泵. 設(shè)計(jì)牢固和性能穩(wěn)定, 高性價(jià)比，讓那些初創(chuàng)工廠，醫(yī)療實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)機(jī)構(gòu)，能夠使用PLASMA ETCH的產(chǎn)品和技術(shù)

PE-100提供三種功能配置：

1. 常規(guī)的等離子清洗和等離子蝕刻

2. 反應(yīng)離子蝕刻（RIE）

3. PE-100可轉(zhuǎn)換配置，一個(gè)系統(tǒng)包含各向異性和各向同性等離子體處理, 可移除托盤配置。

簡(jiǎn)介

PE-100焊接鋁真空反應(yīng)腔包含一個(gè)寬松的240平方英寸的有效等離子處理面積， 標(biāo)準(zhǔn)配置三層電極。采用工業(yè)粉末固化工藝，PE-100本體潔凈的設(shè)計(jì)，能在運(yùn)行過(guò)程中減少污染物產(chǎn)生。

當(dāng)使用PE-100作為反應(yīng)離子蝕刻應(yīng)用，電極會(huì)特別設(shè)計(jì)為直驅(qū)型等離子，意味著等離子接觸處理物表面，產(chǎn)生的等離子體向下流動(dòng)或是鉆進(jìn)的效果。這個(gè)過(guò)程主要用在那些微孔或是清洗非常小的空間，這些工件通常不能夠通過(guò)化學(xué)清洗方法，因?yàn)橐后w流動(dòng)會(huì)在小空間里面受到限制，比如過(guò)孔。

典型的客戶包括：*生產(chǎn)制造工程，研究和開(kāi)發(fā)實(shí)驗(yàn)室，測(cè)試工廠以及大學(xué)。工業(yè)客戶包括生物醫(yī)藥，牙科，電子，光電子，科研，塑料，光學(xué)，太陽(yáng)能電池電池板等。.

使用我們的等離子清洗機(jī)刻蝕，比較化學(xué)浸泡方法，可以避免昂貴的有害化學(xué)廢水處理。等離子處理非常容易使用，通過(guò)導(dǎo)引型觸摸屏操作控制等離子過(guò)程的各個(gè)參數(shù)，來(lái)確保高重復(fù)性。

我們可以客戶化配置反應(yīng)腔和電極，來(lái)滿足您的產(chǎn)品或是過(guò)程需要，包括客戶化尺寸水平電極，RIE(反應(yīng)離子蝕刻) 和半導(dǎo)體引線邊框的布局。

標(biāo)準(zhǔn)特性

焊接鋁真空反應(yīng)腔
3層水平處理電極 9” 寬 x 13” 深 3” 間隔距離

300 瓦射頻發(fā)生器 @ 100KHZ

一個(gè)0-50sccm質(zhì)量流量控制器

皮拉尼真空計(jì)0-1托

微處理器控制系統(tǒng)，帶觸摸屏界面, 存儲(chǔ)一組過(guò)程參數(shù)

8CFM帶氧氣供應(yīng)真空泵

真空泵油水分離器

可選項(xiàng)目特性
300 W射頻發(fā)生器 @ 13.56 MHZ

靜電防護(hù)

過(guò)程溫度控制

氮?dú)廨斎胂到y(tǒng)，用于延長(zhǎng)真空泵壽命

RIE(反應(yīng)離子蝕刻)配置

客戶化電極尺寸和配置

電氣和尺寸：

系統(tǒng)重量：等離子反應(yīng)器 160lbs，真空泵68lbs

系統(tǒng)尺寸：等離子反應(yīng)器 17“ X 28” X 30”， 真空泵6 “ X 18” X 9”

廠務(wù)條件：

電壓：220伏交流， 50HZ, 13A, 單相

壓縮氣體供應(yīng)80-100psig <0.5 CFM

可調(diào)過(guò)程氣體15-30PSIG