流量測(cè)量準(zhǔn)確度 | ±1%F.S(可按要求提供更高值) |
流量測(cè)量線性 | ±0.5%F.S |
流量測(cè)量重復(fù)性 | ±0.2%F.S |
零氣流量 | 5或10(標(biāo)配)或20slm |
標(biāo)氣流量 | 50或100(標(biāo)配)或200slm |
零氣產(chǎn)生 | 不含NO—NOX —O3—SO2—CO和HC的零氣 |
zui大輸出流量 | 可達(dá)到20L/min(可按要求提供更大值) |
輸出壓力 | (0.1-0.3)Mpa |
露點(diǎn) | 0℃ |
零氣純度 | SO2≤1ppb NO≤1PPbNO2≤1PPbO3≤1PPb CO(選項(xiàng)) ≤0.05ppm HC(選項(xiàng)) ≤0.05ppm |
選配 | 一氧化碳和碳?xì)浠衔餃斐?/span> |