產(chǎn)品介紹:
Tropel®FM200®為精密部件的制造商提供了業(yè)界的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。FM200能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行測量。
產(chǎn)品特點:
■ 無接觸和無損傷測量
■ 適用多種類型材料:半導(dǎo)體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
■ 適用多種類型晶片:硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
■ 適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面
■ 測量多種不同指標(biāo):
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
■ 完整的分析系統(tǒng):
三維/拓?fù)?/span>/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以實現(xiàn)自動、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測量
■ 超過15年的工業(yè)應(yīng)用,幾百臺的裝機(jī)量
技術(shù)參數(shù):
■ 精確度:50nm (2.0μ″)
■ 重復(fù)性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
■ 分辨率:5nm (0.2μ″)
■ 可測量工件尺寸:25mm-200mm
■ 動態(tài)測量范圍:>100um
■ 測量數(shù)據(jù)點:230,000 / measurement
■ 測量時間:5秒
■ 電源:~220V 50Hz
典型客戶:
國外:Honeywell Electronic Materials,SEI,Showa Denko,SESMI,Saint Gobain,Nikko Materials,Hitachi Cable,F(xiàn)reiberger Compound Materials,Crystal Tech,Samsung,LG,Crystalwise,Wafer Works……
國內(nèi):塞維,重慶四聯(lián),中電46所,山東大學(xué),大連理工大學(xué),*半導(dǎo)體所,*物理所,中科晶電,中科鎵英,云南藍(lán)晶,青島嘉星晶電,天科合達(dá),大慶佳昌……
詳情咨詢:
北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司
北京市通州區(qū)工業(yè)開發(fā)區(qū)光華路16號
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董工:
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