產(chǎn)品特點
1、本產(chǎn)品采用氣相法制備石墨烯材料方式，采用微波熱等離子體技術，適合石墨烯原料制備工藝研究和小批量生產(chǎn)。
2、本產(chǎn)品等離子生長腔體采用潔凈石英管結(jié)構(gòu)，避免生產(chǎn)過程中的雜質(zhì)污染，確保產(chǎn)品品質(zhì)。
3、本產(chǎn)品設計連續(xù)氣相生長功能，采用頂部4路進氣混氣，底部排料的結(jié)構(gòu)。
4、本產(chǎn)品采用真空和微正壓系統(tǒng)設計，反應室與外界密封設計，適合微波等離子體狀態(tài)。
5、本產(chǎn)品設置真空管路和防爆泄壓結(jié)構(gòu)，支持真空、氣氛和微正壓環(huán)境。
6、本產(chǎn)品采用微波等離子體技術 ，功率智能調(diào)節(jié)，工藝性更穩(wěn)定。
7、本產(chǎn)品采用PLC程序控制，觸摸屏操作，工藝路線可實現(xiàn)自動化控制，工藝數(shù)據(jù)可讀取。
技術參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | 氣相石墨烯生長爐 |
型號 | MCG-M10HBP |
技術原理 | 微波等離子體（MPCVD） |
設備形式 | 立式管道型，多路氣氛，高真空密封 |
進出料形式 | 進料：氣態(tài)/ 出料：固態(tài) |
反應區(qū)尺寸 | Φ200*500 mm |
微波系統(tǒng) | 微波功率10kW/2450MHz，系統(tǒng)水冷 |
產(chǎn)成品 | 石墨烯粉體，產(chǎn)量和特性依據(jù)具體工藝要求 |
監(jiān)控視窗 | 垂直三個觀察窗 |
控制方式 | PLC控制系統(tǒng)，彩色觸摸屏操作，多參數(shù)顯示 |
安全措施 | 產(chǎn)品氣體管路系統(tǒng)防爆設計 |
微波防護 | 微波泄漏量：<5mW/cm2 (國標） |
設備外尺寸 | 900×900×1700mm（長×寬×高） |
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