半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備
半導(dǎo)體(semiconductor),指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體材料很多,按化學(xué)成分可分為元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體兩大類。鍺和硅是***常用的元素半導(dǎo)體;化合物半導(dǎo)體包括Ⅲ-Ⅴ族化合物:砷化鎵、磷化鎵等;Ⅱ-Ⅵ族化合物:硫化鎘、硫化鋅等;氧化物:錳、鉻、鐵、銅的氧化物,以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物組成的固溶體:鎵鋁砷、鎵砷磷等。除上述晶態(tài)半導(dǎo)體外,還有非晶態(tài)的玻璃半導(dǎo)體、有機(jī)半導(dǎo)體等。
設(shè)備特點(diǎn):
1、無需酸堿再生:在混床中樹脂需要用化學(xué)藥品酸堿再生,而EDI則消除了這些有害物質(zhì)的處理和繁重的工作,保護(hù)了環(huán)境。
2、連續(xù)、簡單的操作:在混床中由于每次再生和水質(zhì)量的變化,使操作過程變得復(fù)雜,而EDI的產(chǎn)水過程是穩(wěn)定的連續(xù)的,產(chǎn)水水質(zhì)是恒定的,沒有復(fù)雜的操作程序,操作大大簡便化。
3、降低了安裝的要求:EDI系統(tǒng)與相當(dāng)處理水量的混床相比,有較不的體積,電子半導(dǎo)體用超純水設(shè)備采用積木式結(jié)構(gòu),可依據(jù)場地的高度和靈活地構(gòu)造,模塊化的設(shè)計(jì),使EDI在生產(chǎn)工作時(shí)能方便維護(hù)。
工藝流程
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水點(diǎn)(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)。
應(yīng)用領(lǐng)域
1、電廠化學(xué)水處理
2、電子、半導(dǎo)體、精密機(jī)械行業(yè)超純水
3、食品、飲料、飲用水的制備
4、小型純水站,團(tuán)體飲用純水
5、精細(xì)化工、精尖學(xué)科用水
6、其他行業(yè)所需的高純水制備
7、制藥工業(yè)工藝用水
8、海水、苦咸水的淡化