紅外探傷測試儀 - 主要原理:在特定光源和紅外探測器的協(xié)助下,HS-NIR-01型紅外探傷測試儀能夠穿透200mm深度的硅塊,純硅料幾乎不吸收這個波段的波長,但是如果硅塊里面有微粒、夾雜(通常為SiC)、隱裂,則這些雜質(zhì)將吸收紅外光,因此在成像系統(tǒng)中將呈現(xiàn)出來,而且這些圖像將通過我們的軟件自動生成三維模型圖像。
多晶硅紅外探傷測試儀主要由紅外光源,旋轉(zhuǎn)臺,成像系統(tǒng)構(gòu)成。成像系統(tǒng)的參數(shù)設(shè)置包括光照亮度,對比度,伽馬射線和一體化的時間設(shè)置,獲取模式選擇和損壞像素管理。旋轉(zhuǎn)臺由單軸伺服電機驅(qū)動,同時擁有光電編碼器的位置檢查的功能。軟件也可以直接控制伺服電機。
通常都是在硅塊清洗處理后線切割前進行紅外探傷,在線切割前進行紅外探傷不僅可以減少線痕片,而且可以減少SiC斷線,大大提高效益,這些夾雜都可以清晰地反映在我們的紅外探傷系統(tǒng)中。斷線的修復(fù)是一個費時費力的工作,同時不是所有的斷線都能夠成功。因此它是多晶硅片生產(chǎn)中*的工具。