ROSI600系列氧分析儀主要在于滿足硅產(chǎn)業(yè)對于分析的低靈敏度和高精度的要求。一般通過力可固態(tài)紅外檢測系統(tǒng)的靈敏度與我們?nèi)略O(shè)計的進樣系統(tǒng)和可編程脈沖爐相結(jié)合。
ROSI600系列氧分析儀提供準確和精確的氧含量的結(jié)果,比如硅片材料中氧的分析結(jié)果。低靈敏度和高精度也被應(yīng)用到其他金屬工業(yè),比如電子工業(yè)中對高純度銅中氧含量的測定需求。
ROSI600系列氧分析儀特征
1、非色散固態(tài)紅外檢測器,高精度,高分辨率;
2、可編程通過功率及電流控制的脈沖電極爐;
3、分析精度及準確度精確至ppm級別;
4、低空白值,配置適合硅片進樣的進樣口;
5、配置具有安全保護性能的試劑容器;
6、儀器全新的氣路設(shè)計需要更少的維修;
7、氧含量輸入采用ppma格式;
8、Windows® 操作系統(tǒng)。
ROSI600系列氧分析儀特點
試樣的進樣系統(tǒng)設(shè)計可連續(xù)樣品加載,低大氣空白和高載氣純度。在進樣系統(tǒng)的滑槽式的設(shè)計中,硅片可連續(xù)進樣。雙密封,磁加載機械機構(gòu)以及集成的氧/水氣捕集器,使得進樣系統(tǒng)實現(xiàn)零大氣污染,并保持更好的載氣氣體的純度。
ROSI600系列氧分析儀型號
ROSi600 氧分析儀配置電腦及平板顯示器和Windows操作系統(tǒng)
可選件
1、Smartline® Remote 遠程診斷
2、消耗品
3、自動清掃及自動進樣系統(tǒng)
應(yīng)用
ROSi600 樣本