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HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )-真空烘箱

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2022/4/13 16:48:41
  • 訪問次數(shù)1838
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術(shù)進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網(wǎng)絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質(zhì) 316 工作室尺寸 450mm
功率 3000 加工定制
類型 真空 適用范圍 半導體
溫度范圍 200℃ 重量 130kg
HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再進行HMDS處理,不需要從箱內(nèi)傳出,而接觸到空氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有更好的處理效果。
HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )-真空烘箱 產(chǎn)品信息

HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )用途:

   在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑 HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?/span>其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )技術(shù)性能:

1.尺寸(深*寬*高)
內(nèi)腔尺寸:450×450×450(mm)(可定制)
外形尺寸:750×1120×1650(mm)
2. 材質(zhì)
外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級不銹鋼
3.溫度范圍
RT+50-200℃
4.溫度分辨率
0.1℃
5.溫度波動度
≤±0.5
6 真空度
≤133pa(1torr)
7.電源及總功率
AC 220V±10% / 50HZ
總功率約 3.5KW
8.控制儀表
人機界面
9.擱板層數(shù)
2 層
10.HMDS控制
可控制HMDS 藥液添加量
11.真空泵
無油渦旋真空泵
關(guān)鍵詞:人機界面 真空泵
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