設(shè)備特點(diǎn)
此款1700℃高溫CVD系統(tǒng)，是由1700度管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)以及國(guó)產(chǎn)高真空系統(tǒng)（或選配低真空系統(tǒng)）所組成。此設(shè)備主要用于:真空或氣氛燒結(jié)、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實(shí)驗(yàn)環(huán)境. 設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠，溫場(chǎng)均勻，結(jié)構(gòu)合理，氣路選用液晶屏觸摸界面，使得操作異常簡(jiǎn)單、方便；設(shè)備的各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)，30段可編程溫控系統(tǒng)更是一目了然,使整個(gè)實(shí)驗(yàn)的運(yùn)行狀態(tài)盡在您的掌控之中。
加熱區(qū)參數(shù) | 爐管尺寸：Φ60/80×1000mm（管徑可選） 加熱元件：硅鉬棒 加熱區(qū)長(zhǎng)度：300mm 推薦升溫速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 額定功率：5.2 KW 外型尺寸：610×440×720 mm 標(biāo)準(zhǔn)配件：高純剛玉管1支，氧化鋁管堵2對(duì)，不銹鋼法蘭1套，氟膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險(xiǎn)1個(gè)； 密封系統(tǒng)：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭） 端口可按實(shí)際使用擴(kuò)展。 |
氣路系統(tǒng)參數(shù)
| 質(zhì)量流量計(jì)參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選） 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa Z大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質(zhì)量流量計(jì)。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù)
| 國(guó)產(chǎn)油泵型號(hào)：BSV-10 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機(jī)功率：0.4kw 進(jìn)排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計(jì)參數(shù)： 1.配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)， 2.測(cè)量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測(cè)量路數(shù)： 1路 4.控制范圍： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負(fù)載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W 采用波紋管手動(dòng)擋板閥與真空系統(tǒng)相連接。 |
高真空系統(tǒng)參數(shù)
| 空氣相對(duì)濕度：≤85% 工作電壓：AC220V±10% 50/60HZ 功率：1KW 系統(tǒng)整體極限真空度：10-5Pa 實(shí)驗(yàn)真空度：10-3Pa 外形尺寸：850×600×650mm 機(jī)械泵: 抽氣速率：10m3/h 容油量：1.1L 電機(jī)功率：400W 極限壓強(qiáng)：6×10-2Pa 分子泵: 抽氣速率：100L/S 極限壓強(qiáng)：6×10-6Pa 啟動(dòng)時(shí)間：＜2min 額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分 冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；5-40℃時(shí)，水冷。 分子泵控制器: 電壓：220V±22V 啟動(dòng)電流：≤7A 輸入頻率：47HZ—63HZ Z大輸出功率：≤150W Z大加速電壓：≤40V 加速時(shí)間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ 復(fù)合真空計(jì): 測(cè)量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路） 工作模式：手動(dòng)/自動(dòng) 電阻單元參數(shù) 規(guī)管型號(hào)：ZJ-52T電阻規(guī) 測(cè)量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數(shù) 規(guī)管型號(hào)：ZJ-27電離規(guī) 可測(cè)范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 規(guī)管除氣方式：焦耳去氣 其他參數(shù) 控制路數(shù)：4路 控制方式：點(diǎn)動(dòng)或區(qū)域控制/帶掉電記憶 控制精度：±1% 采樣時(shí)間：1S 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環(huán)境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85% 連接管路: 采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s 采用波紋管手動(dòng)擋板閥與真空系統(tǒng)相連接。
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備注： | 可根據(jù)工藝要求選配低真空或高真空系統(tǒng)。 |
