主要特點(diǎn)：
此款智能型等離子體增強(qiáng)化學(xué)沉積系統(tǒng)的高溫真空爐加熱腔體采用進(jìn)口氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于制備大面積高質(zhì)量低成本二維層狀半導(dǎo)體材料及其異質(zhì)結(jié)。加熱元件選用上下共16組電阻絲加熱，有利于爐內(nèi)溫度場(chǎng)的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制；測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無(wú)須操作人員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào)，同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品，做到高性能、免維護(hù)，提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。
本設(shè)備集真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻源、自動(dòng)推進(jìn)、加熱爐于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中，使設(shè)備更加智能化，便于使用者操作。增大了加熱區(qū)的長(zhǎng)度及溫區(qū)數(shù)量,延長(zhǎng)了爐管，使輝光長(zhǎng)度達(dá)到了2000mm，同時(shí)保持很好的輝光均勻性。
加熱區(qū)參數(shù)：
| 爐管尺寸：外徑φ50*2000mm 爐管：高純度石英管Φ25506080100150x2000mm (管徑可選) 加熱元件:電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 工作溫度：1100℃ Z大升降溫速率：≤30℃/min 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。 標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管1支，莫來(lái)石管堵2對(duì)，不銹鋼法蘭1套，氟膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支； 尺寸約：2000×600×1500 mm（長(zhǎng)、寬、高） 備注：可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。 |
氣路系統(tǒng)參數(shù)：
| 質(zhì)量流量計(jì)參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選） 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa Z大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù)：
| 國(guó)產(chǎn)油泵型號(hào)：BSV-10 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機(jī)功率：0.4kw 進(jìn)排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計(jì)參數(shù)： 1.配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)， 2.測(cè)量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測(cè)量路數(shù)： 1路 4.控制范圍： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負(fù)載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
射頻源主要參數(shù)：
| 信號(hào)頻率：13.56 MHz±0.005% 功率輸出范圍：0-500W Z大反射功率:100W 射頻輸出接口：50 Ω, N-type, female 功率穩(wěn)定性：≤5W 諧波分量：≤-50dbc 供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣鳎?87V-253V） 頻率50/60HZ 整機(jī)效率：>=70% 功率因素：>=90% 冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷 備注：可根據(jù)腔體大小選擇射頻源功率。 |
