該PECVD（等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）系統(tǒng)，有多路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)（進(jìn)口流量計(jì)），真空機(jī)組（進(jìn)口真空泵），PE射頻電源（進(jìn)口射頻源），溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成。使用PE源將氣源等離子化，有利于降低工藝溫度，同時(shí)擴(kuò)大工藝的使用條件，滿足更多的工藝實(shí)驗(yàn)要求，如石墨烯、C納米管等，控制操作系統(tǒng)集成于觸摸屏操作面板上，便于操作與觀察。
技術(shù)參數(shù)：
雙溫場滑軌爐（BTF-1200C-S-SL）
| 主要特點(diǎn)： 滑軌式快速升溫爐是專為生長石墨烯研制的石墨烯生長專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)，這款設(shè)備是根據(jù)開啟式真空管式爐改裝而來的，操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。 技術(shù)參數(shù)： 額定功率（KW）：4 額定電壓（V）：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz Z高溫度（℃）：1200（1 hour） 持續(xù)工作溫度（℃）：1100 Z大升& 降溫速率（℃/S）：≤20 爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1900（管徑可選） 加熱區(qū)長度（mm） :230+230 恒溫區(qū)長度（mm）：100+100 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報(bào)警功能 控溫精度（℃）：±1 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)： 密封系統(tǒng)：爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表，法蘭進(jìn)氣端配置兩個(gè)Φ6mm卡套進(jìn)氣口。 凈重（Kg）：80 |
射頻電源 500W
| 信號頻率:13.56 MHz±0.005% 功率輸出范圍:L5W-500W Z大反射功率:200W 射頻輸出接口:50 Ω, N-type, female 功率穩(wěn)定度:±0.1% 諧波分量:≤-50dbc 供電電壓:單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ 整機(jī)效率:>=70% 功率因素:>=90% 冷卻方式:強(qiáng)制風(fēng)冷 |
供氣系統(tǒng)
| 工作電壓：185~245V 50HZ Z大輸出功率：18W 流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊以氮?dú)鈽?biāo)定，量程可選） 工作溫度：5~45℃ 工作壓差：0.1~0.5MPa Z大壓力：3MPa 準(zhǔn)確度：±1.5% FS 測量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） 針閥：316不銹鋼 混氣罐：Φ80×120mm 截止閥：Φ6mm”316不銹鋼針閥 尺寸：600×600×650 mm |
低真空機(jī)組VAU-02
| 空氣相對濕度： ≤85% 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：500瓦 抽氣速率：8m3/h 極限真空：4X10-2Pa 實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa 容油量： 1.1L 進(jìn)氣口口徑：KF25 排氣口口徑：KF25 轉(zhuǎn)速：1450rpm 噪音：50dB 外型尺寸：600×600×600mm |
