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三溫區(qū)滑軌式PECVD系統(tǒng)(BTF-1200C-III-SL-PECVD) 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī)

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  • 公司名稱重慶開衡科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/2 9:21:06
  • 訪問(wèn)次數(shù)259
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重慶開衡科技有限公司成立于2011年,是由一批有著高等學(xué)歷、優(yōu)良品質(zhì)、豐富經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)人士組建的一家客戶驅(qū)動(dòng)型企業(yè)。 公司自成立以來(lái),不斷拓寬資源渠道,完善產(chǎn)品結(jié)構(gòu),積累專家智庫(kù),提高本地化服務(wù)水平。致力打造科學(xué)研究、分析檢測(cè)相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和消耗品“一站式”采購(gòu)平臺(tái),幫助客戶建設(shè)一個(gè)完備可靠的實(shí)驗(yàn)室。 一個(gè)渠道,無(wú)限解決方案。開衡科技提供所有實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備的支持和供應(yīng)管理,不限生產(chǎn)廠家,憑借我們專業(yè)技術(shù)和服務(wù)能力,幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產(chǎn)力。 我們的產(chǎn)品包括:天平、箱類控溫系統(tǒng)、離心機(jī)、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質(zhì)檢測(cè)儀器、樣品低溫存儲(chǔ)設(shè)備、細(xì)胞培養(yǎng)設(shè)備、樣品離心及濃縮處理系統(tǒng)、微孔板分析儀器、實(shí)驗(yàn)室純水、恒溫產(chǎn)品、質(zhì)量控制檢測(cè)設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、移液器,以及實(shí)驗(yàn)室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實(shí)驗(yàn)室家具等等。 開衡科技以豐富的選擇,便捷的網(wǎng)絡(luò),迅速有效的售后服務(wù),為重慶地區(qū)各大專院校、科研院所、工業(yè)單位,涉及制藥、環(huán)監(jiān)、食品、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學(xué)、化工、石化、材料、電子等行業(yè)的科技工作者提供服務(wù)和支持。多年實(shí)干,公司在用戶中已贏得廣泛贊譽(yù),并成為重慶地區(qū)科學(xué)儀器行業(yè)內(nèi)受尊敬的供應(yīng)商之一。
實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備,,
主要特點(diǎn)我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象
三溫區(qū)滑軌式PECVD系統(tǒng)(BTF-1200C-III-SL-PECVD) 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī) 產(chǎn)品信息
主要特點(diǎn)
我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低。
2.使用滑軌爐實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。
3.設(shè)備*的技術(shù)使得整管輝光均勻等效,均勻生長(zhǎng)。
技術(shù)參數(shù)

三溫區(qū)滑軌爐
BTF-1200C-III- SL
爐管尺寸
外徑Φ100*2330mm(可選)
極限溫度
1200℃
工作溫度
≤1100 ℃
溫度控制器
PID自動(dòng)控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器
Z快升溫速率
20℃/min
加熱區(qū)
300+300+300mm
恒溫區(qū)
150+200+150mm
控溫精度
±1 ℃
電源
單相220V,交流50Hz
4路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)
Z大電壓
185~245V/50Hz
Z大輸出功率
18W
流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程
100,200,200,500SCCM;(非特殊以氮?dú)鈽?biāo)定,量程可選定
工作溫度
5~45 oC
工作壓差
0.1~0.5 MPa
Z大壓力
3MPa
準(zhǔn)確度
±1.5% FS
測(cè)量范圍
-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
針閥
316不銹鋼
混氣罐
Φ80×120mm
截止閥
Φ6mm”316不銹鋼針閥
尺寸
600*600*650mm
低真空系統(tǒng)
空氣相對(duì)濕度
≤85%
工作電電壓
220V±10% 50~60HZ
功率
500W
抽氣速率
10m3/h
極限真空
4X10-2Pa
實(shí)驗(yàn)真空度
1.0X10-1Pa
容油量
1.1L
進(jìn)氣/排氣口徑
KF25
噪音
50dB
外形尺寸
600×600×600mm
射頻電源
信號(hào)頻率
13.56MHz±-0.005%
射頻功率輸出范圍
5W-500W
Z大反射功率
200W
射頻輸出接口
50Ω。N-type,female
功率穩(wěn)定度
±0.1%
諧波分量
-50dbc
供電電壓
單相50/60Hz 220v±10%
整機(jī)效率
>=70%
功率因素
>=90%
冷卻方式
強(qiáng)制風(fēng)冷


15700106413
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