主要特點(diǎn)
400℃開啟式真空預(yù)熱管式爐不僅是可以提高熱交換性能，降低熱量損耗的一種預(yù)熱設(shè)備，也可以作為1000℃小型加熱爐進(jìn)行抽真空，通氣氛實(shí)驗(yàn)；加熱區(qū)長度100mm，恒溫區(qū)60mm；爐管工件橫穿與上下各8組進(jìn)口電阻絲的爐膛，溫場均勻，內(nèi)外溫差可控制在3度左右。滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低。
2.使用滑軌爐實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。
3.設(shè)備*的技術(shù)使得整管輝光均勻等效，均勻生長。
技術(shù)參數(shù)
硫粉預(yù)熱器  | 型號(hào)：BTF-400C 工作溫度：350℃ Z高溫度：400℃ Z快升溫速率：30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220 V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲 |
加熱爐  | 技術(shù)參數(shù)： 額定功率(KW):3 額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz Z高溫度(℃):1200（1 hour） 持續(xù)工作溫度(℃）：1100 升溫速率（℃/min）：≤50 爐管尺寸（mm）： 高純石英管Φ50×1200mm 加熱區(qū)長度（mm）：440mm 恒溫區(qū)長度（mm）:200mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 控溫精度(℃):±1 加熱元件:電阻絲 |
供氣系統(tǒng)（GMF-3Z）  | 重量：35Kg 外形尺寸：600x600x650mm 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)：100sccm、200sccm （可根據(jù)用戶要求定制） 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa Z大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 |
低真空機(jī)組（VAU-02）  | 技術(shù)參數(shù)： 空氣相對(duì)濕度≤85%， 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽氣速率：10m3/H 極限真空：4X10-2Pa 實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa 容油量：1.1L 進(jìn)氣口口徑：KF25 排氣口口徑：KF25 轉(zhuǎn)速：1450rpm 噪音：50dB 外型寸:600×600×600mm |
射頻電源  | 信號(hào)頻率：13.56MHz±-0.005% 射頻功率輸出范圍：5W-500W Z大反射功率：200W 射頻輸出接口：50Ω。N-type,female 功率穩(wěn)定度：±0.1% 諧波分量：≤-50dbc 供電電壓：單相50/60Hz 220v±10% 整機(jī)效率：>=70% 功率因素：>=90% 冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷 |
