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電子、半導(dǎo)體廠生產(chǎn)凈化車間

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  • 公司名稱江蘇澤躍凈化科技發(fā)展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/2/19 10:53:06
  • 訪問次數(shù)655
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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江蘇澤躍凈化科技發(fā)展有限公司從事風(fēng)淋室,貨淋室,潔凈廠房,初、中、高效空氣過濾器,凈化工程,系列凈化工作臺(tái),高效通風(fēng)口,層流罩,凈化設(shè)備工程設(shè)計(jì)、制作、安裝、調(diào)試及空氣凈化設(shè)備配套產(chǎn)品生產(chǎn)。廣泛應(yīng)用于電子儀表、航空航天、精密儀器、醫(yī)療器械、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、日化精細(xì)、食品飲料、汽車玻璃等作業(yè)?! ∥宜緭碛幸恢Ц咚刭|(zhì)的員工隊(duì)伍,擁有堅(jiān)實(shí)的技術(shù)與銷售力量 , 并不斷的通過對(duì)員工技術(shù)與技能的培訓(xùn),在生產(chǎn)與工程實(shí)踐中積累經(jīng)驗(yàn),以滿足廣大用戶的各種生產(chǎn)需求?! 」緦⒉粩鄤?chuàng)新,提高產(chǎn)品和服務(wù)質(zhì)量,滿足客戶的各種不同需求,公司本著“互利、誠信、共同發(fā)展”的原則與廣大客戶共創(chuàng)雙贏的合作關(guān)系,您的滿意是我們的鼓勵(lì)。
超凈工作臺(tái)
潔凈室簡(jiǎn)介:潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間
電子、半導(dǎo)體廠生產(chǎn)凈化車間 產(chǎn)品信息

潔凈室簡(jiǎn)介:

潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

  

潔凈室*主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非99%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。


控管項(xiàng)目

1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。

2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

3、溫度和濕度之控制。

4、壓力之調(diào)節(jié)。

5、有害氣體之排除。

6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

7、靜電之防制。

8、電磁干擾預(yù)防。

9、安全因素之考慮。

10、節(jié)能之考量。

  

潔凈室重要性:

潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。 潔凈室系利用EPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

  

光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料:

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。

  

電子無塵車間凈化參數(shù):

換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000級(jí)≥30次;

壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa;

平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃;

濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電;

噪聲≤65dB(A);

新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。

凈化車間隔墻鋼化玻璃圓弧觀察窗示意圖

  

鋼化玻璃凈化觀察窗,大小為2400W*1200,窗戶離地高度為1.2米

設(shè)計(jì)方案:

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì),應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案,以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn),對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的,又要初投資低的,可以選用柜機(jī)+FFU??傊?,具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

電子無塵凈化車間內(nèi)部細(xì)節(jié)展示

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半導(dǎo)體組件空間單位都是以微米計(jì)算,因此微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上,便有可能影響到其上精密導(dǎo)線布局的樣式,造成短路或斷路的嚴(yán)重后果。所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間中,這就是半導(dǎo)體潔凈車間的來由。

  

  

半導(dǎo)體潔凈車間有專業(yè)的建造廠家,如,擁有凈化工程B類二級(jí)資質(zhì)的深圳市中建南方凈化設(shè)備有限公司。以下半導(dǎo)體潔凈車間的相關(guān)的技術(shù)和使用管理辦法:

1.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn),因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。

2.為保持恒溫與恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久,空調(diào)就得開多久。

3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主,因此,潔凈車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃細(xì)菌等在潔凈車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至*低程度。

4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。

5.所有人或事物進(jìn)出潔凈車間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

6.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓,二則防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道,影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是*佳的溶劑與清潔劑,在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人!

7.半導(dǎo)體潔凈車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的,都得使用氮?dú)?(98%),吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。

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