6"等離子清洗機EQ-PDC-001
EQ-PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機,其等離子腔體尺寸為 6"dia x 6.5"。特別適合對有機物和基片表面進行清洗,同時可以向腔體通入不同的氣體(如氧氣和惰性氣體等),從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進行預(yù)處理,此款設(shè)備極為理想。
技術(shù)參數(shù)
輸入 功率 | AC 110V , 50/60 Hz, < 200W |
輸出 頻率 | 13.56 MHz |
功 率 | ●低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W ●中檔720V DC 15 mA DC 10.5W ●上等740V DC 40 mA DC 30 W |
等離子腔體 | 尺寸:6" dia x 6.5" l 石英腔體 |
真 空 泵 和 閥 | ●儀器中包括有一雙極旋片泵,2XZ-2,抽氣速率為2L/s, ●泵上安裝有一個不銹鋼針閥,其接口為寶塔嘴接頭 |
通入的氣體 | 腔體中可以通入多種氣體,如N2, Ar, Air ,也可以通入多種混合氣體,以滿足實驗需要 ,不可以通入可燃性氣體進入等離子腔體中 |
可選 配件 | ●如果基片的直徑為2"和4",可以選購石英架,每個石英架上可以放25片 ●數(shù)字式真空顯示計,可以**顯示石英腔體內(nèi)的真空度 |
外型 尺寸 | 11" H x 18" W x 9" D |
細節(jié)圖(點 擊 查 看 大 圖) | |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保 ( 不包括石英腔體和密封圈) |
質(zhì)量 認證 | CE Certified |