技術應用鏈接:
Tetra 600 LF-PC | 特殊設備
開關柜: 寬 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm
腔室: 寬 1000 mm、高 1000 mm、深 600 mm
腔室容積: 約600 升
氣體供給: 2 個通過 MFC 控制的氣體通道
發(fā)生器: 1 個 (40 kHz)(可選:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
部件支架: 產品支架(可變)
控制系統(tǒng): PC 控制系統(tǒng) (Windows)
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加