VP120 Plasma
專為微電子表面清潔與處理設(shè)計(jì)
可以用于處理各種電子材料,包括塑料、金屬或者玻璃等。
用途
·wire bonding 前焊盤(pán)的表面清洗
·集成電路鍵合前的等離子清洗
·ABS 塑料的活化和清洗
·陶瓷封裝電鍍前的清洗
·其他電子材料表面改性和清洗
特性
·采用 13.56MHz 射頻電源搭配自動(dòng)網(wǎng)絡(luò)匹配器 或 中頻40Khz電源
·產(chǎn)品放置治具靈活多變,可適應(yīng)不同形狀的產(chǎn)品
·產(chǎn)品放置平臺(tái)靈活移動(dòng),方便操作
·極小的占地面積
技術(shù)規(guī)格 | VP120 |
電極 | 有效尺寸 | 400(W)*410(D)mm |
電極分布 | 6層水平分布,極板間距50mm |
真空腔體 | 尺寸 | 785(W)*485(D)*350(H)mm |
材料 | 航空鋁合金 |
主機(jī) | 主機(jī)體尺寸 | 1240(W)×1600(H)×1100(D)mm |
安裝面積 | 1500*1500mm |
重量 | 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型:500KG |
RF電源 | 功率@頻率 | 美國(guó)CERES-600W@13.56MHz或1000W@40Khz |
真空泵 | 變頻器 | 德國(guó)西門(mén)子變頻器控制真空泵電機(jī) |
機(jī)械油泵 | 日本ULAVC-60m3/h |
主要配件 | 氣體流量計(jì) | SevenStar 2通道0-300sccm |
真空探測(cè)儀 | 日本ULAVC皮拉尼式 |
破真空閥門(mén) | 日本CKD氣動(dòng)閥門(mén) |
電磁閥 | 日本SMC真空電磁閥 |
控制方式 | 德國(guó)西門(mén)子PLC & 人機(jī)界面 |
安裝條件 | 電力 | AC380,50/60Hz,3Phase 5wire,5.2KVA |
壓縮空氣 | 0.4-0.6MPa |
工藝氣體 | O2 N2 H2 Ar |
排氣管道接口 | KF40 |
深圳金鉑利萊科技有限公司建議大家在使用等離子清洗機(jī)的時(shí)候注意以下幾點(diǎn):
1、正確設(shè)置等離子設(shè)備的運(yùn)行參數(shù),按時(shí)設(shè)備使用說(shuō)明書(shū)來(lái)執(zhí)行;
2、保護(hù)好等離子體的點(diǎn)火裝置,以確保等離子清洗機(jī)可以正常的啟動(dòng);
3、等離子設(shè)備在啟動(dòng)前的準(zhǔn)備工作,要對(duì)相關(guān)的人員進(jìn)行培訓(xùn),同時(shí)確保操作等離子清洗機(jī)的人員可以按照要求嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)操作;
4、在一次風(fēng)管沒(méi)有通風(fēng)的時(shí)候,等離子體的發(fā)生器運(yùn)行時(shí)間不能超過(guò)設(shè)備說(shuō)明書(shū)上面要求的時(shí)間,防止燒壞燃燒器,造成不必要的損失;
5、如果需要對(duì)等離子設(shè)備進(jìn)行維護(hù)時(shí)請(qǐng)將等離子發(fā)生器進(jìn)行斷電后再進(jìn)行相應(yīng)的操作。
等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合。通過(guò)其處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。好了,希望上述介紹能夠給各位帶來(lái)幫助!