?顯微鏡具有優(yōu)良的多用途性，能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對(duì)零部件和電氣組件的高性能三軸測(cè)量。無論待測(cè)樣品是大的還是小的，測(cè)量?jī)?nèi)容是簡(jiǎn)單的還是復(fù)雜的，測(cè)量人員
是新手還是專家，奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品。
STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)**測(cè)量
多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了好的的觀察性能
STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被*消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性
為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度，STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平，同時(shí)確保降低誤差。
STM7-LF FEM 分析
作為高度測(cè)量的先鋒，繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量，而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為*成功開發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)
反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。
主動(dòng)反射，共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的**度。
并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
測(cè)量顯微鏡溯源系統(tǒng)
STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性
提供適合您樣品尺寸的載物臺(tái)
常見問題 u短測(cè)量行程無法滿足較大樣品的測(cè)量需求。 u目前為止，大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程，但是Y軸的行程仍然較小。 在測(cè)量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi) 事費(fèi)時(shí)， 效率不高。 u由于可測(cè)量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。 | STM7解決方案 u共有四種正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載 物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。 u采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺(tái) 也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。 u300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程，這意味著可以不旋 轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。 |
STM7-CS50 STM7-CS100 STM7-CS200 STM7-CS300
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
常見問題 u大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以專用測(cè)量物鏡或?qū)Ｓ媒鹣辔镧R，無法同時(shí)滿足多種觀 察要求 | STM7解決方案 uSTM7可以通過安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相 物鏡。這意味著，STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過這 種方式，無論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對(duì) 應(yīng)并協(xié)助用戶選擇*佳的觀察方法。 |
測(cè)量物鏡
由于測(cè)量物鏡具有較長(zhǎng)的工作距離，因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候，無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測(cè)量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大
的視場(chǎng)。
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金相物鏡可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng)，偏光和微分干涉觀察。
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手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦模式的選擇
STM7測(cè)量顯微鏡系列包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列對(duì)于Z軸的上下調(diào)焦，有手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種系列供您選擇。請(qǐng)根據(jù)樣品和測(cè)量?jī)?nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型，而不需要考慮載
物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺，各種型號(hào)STM7都可以對(duì)應(yīng)3軸測(cè)量。
| 手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了較好成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶 提供了方便。 |
| 使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手 動(dòng)的方式進(jìn)行操作，同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。 |
增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導(dǎo)致無法高效率地進(jìn)行測(cè)量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì)發(fā)生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案]
控制裝置
對(duì)于STM7測(cè)量顯微鏡系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎較多的測(cè)量顯微鏡操作，包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以
將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。
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控制箱
各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計(jì)可以較大程度地減少占用工作空間。
提高了觀察和測(cè)量效率的光源管理器
[常見問題]
傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測(cè)量時(shí)的光強(qiáng)無法保持一致，導(dǎo)致測(cè)量值也發(fā)
生變化。
使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí)，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng)，這使得工作流程變的低效。
[STM7解決方案]
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示
| STM7測(cè)量顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)光強(qiáng)的定量數(shù)字化顯示，保證了能在始終一致的照明條件下實(shí)施觀察。 |
物鏡切換時(shí)，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)
光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會(huì)自動(dòng)識(shí)別目前使用的物鏡，結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)
值功能，可以為每個(gè)物鏡注冊(cè)照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后，可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次
切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作，現(xiàn)在就可以省略了。
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可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器，確保能隨時(shí)迅速地檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。
[常見問題]
需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測(cè)量結(jié)果時(shí)，因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。
[STM7解決方案]
能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器
計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈，可以簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的較小單位可以在
0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器
無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上，可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在合適位置。當(dāng)用戶站
著進(jìn)行測(cè)量時(shí)，可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相
機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測(cè)量，或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí)，只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)
行作業(yè)。
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[常見問題]
進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外，這種測(cè)量方法比較耗時(shí)，效率低下。
[STM7解決方案]
具有較好重復(fù)性、簡(jiǎn)單的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi)，由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí)，即使是看上去
非常清晰的已經(jīng)*合焦的圖像，也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量，因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。
目視高度測(cè)量
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奧林巴斯開發(fā)了STM7系列專用的自動(dòng)聚焦單元，該單元在實(shí)現(xiàn)快速聚焦的同時(shí)，保障了對(duì)焦重復(fù)性。因此，無論操作
者的經(jīng)驗(yàn)如何，均可以在短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)。使用STM7自動(dòng)對(duì)焦單元可以在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度測(cè)量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可
以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對(duì)焦，而小直徑的激光，也能對(duì)微小物體，比如引線的自動(dòng)對(duì)焦。
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單次對(duì)焦模式
執(zhí)行自動(dòng)聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場(chǎng)中心的清晰對(duì)焦。
跟蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式后會(huì)隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對(duì)焦，即使在移動(dòng)工作臺(tái)的情況下，也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情
況下也能實(shí)施觀察，從而提高了Z軸的測(cè)量效率。
拓寬了測(cè)量觀察范圍的配件
編碼物鏡轉(zhuǎn)換器
| 將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機(jī)配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率 |
MM6-EMO正像單目鏡筒
| 正立圖像用單目鏡筒?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用。 |
STM7-FS腳踏開關(guān)
| 實(shí)現(xiàn)了不需要用手進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測(cè)量。 |
SZ-LW61白光LED照明裝置
| 具有小型，輕便，使用壽命長(zhǎng)，功耗低等特點(diǎn)。此外，這款高性價(jià)比的LED照明單元也不會(huì)發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。 |
SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動(dòng)控制裝置
| SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨(dú)立照明，并提供具有高色溫的清晰圖像?？梢詮?3種模式中選擇 適合的照明。 |
旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)
使用微調(diào)旋鈕可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的平行對(duì)齊。
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測(cè)量支持系統(tǒng)
即使對(duì)復(fù)雜形狀也能實(shí)現(xiàn)快、簡(jiǎn)單、精度好的測(cè)量，對(duì)于顯示測(cè)量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說，看的越清楚也就能方便快捷地使用和測(cè)量。為了支持高精度、高復(fù)
雜性的測(cè)量，奧林巴斯測(cè)量軟件可以和數(shù)碼照相機(jī)結(jié)合使用。
| 小型手動(dòng)鏡架 STM7-SF | 小型電動(dòng)鏡架 STM7-SFA | 中型手動(dòng)鏡架 STM7-MF | 中型電動(dòng)鏡架 STM7-MAF | 大型手動(dòng)鏡架 STM7-LF | 大型鏡架 STM7-LFA | |||
| 顯微鏡 鏡架 | 聚焦 | 垂直移動(dòng)范圍 | 175 mm | 145 mm | ||||
| 大的測(cè)量高度 | 120 mm（配備測(cè)量物鏡） 175 mm（配備金相物鏡） | 90 mm（配備測(cè)量物鏡） 145 mm*1（配備金相物鏡） | ||||||
| Z軸測(cè)量分辨率 | 0.1 μm | |||||||
| Z軸驅(qū)動(dòng)方法 | 手動(dòng)同軸 微調(diào)/粗調(diào) 焦旋鈕 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)： ●聚焦按鈕： 移動(dòng)速度 8 mm/s（大） ●微/粗調(diào)焦旋鈕： 微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn) 一周移動(dòng)量） 有4檔可供選擇 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm) | 手動(dòng)同軸 微調(diào)/粗調(diào) 焦旋鈕 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)： ●聚焦按鈕： 移動(dòng)速度 8 mm/s（大） ●微/粗調(diào)焦旋鈕： 微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn) 一周移動(dòng)量） 有4檔可供選擇 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm) | 手動(dòng)同軸 微調(diào)/粗調(diào) 焦旋鈕 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)： ●聚焦按鈕： 移動(dòng)速度 8 mm/s（大） ●微/粗調(diào)焦旋鈕： 微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn) 一周移動(dòng)量） 有4檔可供選擇 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm) | ||
| 照明 | LED照明 | 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 | ||||||
| 鏡筒 | 正像單目鏡筒，正像三目鏡筒(100:0/0:100) | |||||||
| 物鏡 | 測(cè)量顯微鏡用 | MM6-OB系列 | ||||||
| 金相顯微鏡用 | MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 | |||||||
| 目鏡 | MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22) | |||||||
| 載物臺(tái) | 測(cè)量范圍 | STM7-CS50: X軸 50 mm, Y軸 50 mm STM7-CS100: X軸 100 mm, Y軸 100 mm | STM7-CS200: X軸 200 mm, Y軸 200 mm | STM7-CS300: X軸 300 mm, Y軸 300 mm | ||||
| 測(cè)量**度 (L：測(cè)量長(zhǎng)度) | STM7-CS50: (3+L/50) μm STM7-CS100: (3+2L/100) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/200) μm | |||||
| **度保證重量 | STM7-CS50: 5 kg STM7-CS100: 6 kg | 10 kg | 15 kg | |||||
| 計(jì)數(shù)器顯示 | 軸數(shù) | 3軸 | ||||||
| 單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 | |||||||
| 小分辨率 | 0.1 μm | |||||||
| 外形尺寸（寬×長(zhǎng)×高）（mm） | 466 x 583 x651 | 466 x 583 x 811 | 606 x 762 x 651 | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 686 | 804 x 1024 x 844 | ||
| 重量 | 約84 kg | 約92 kg | 約152 kg | 約159 kg | 約277 kg | 約284 kg | ||
| 額定功率 | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A | ||
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離
| 倍率 | 1x | 3x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
| 物鏡 | |||||||||
| 測(cè)量物鏡 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | - | - | - | |
| 金相物鏡 | MPLFLN系列 | 明場(chǎng) | - | - | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN系列 | 長(zhǎng)工作距離 | - | - | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 | |
| MPLFLN-BD系列 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng) | - | - | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 | |
| LMPLFLN-BD系列 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng) 長(zhǎng)工作距離 | - | - | 15.0 | 10.0 | 12.0 | 10.6 | 3.3 | |
