SEN特殊光源 清洗燈EUV200NS-35
產品規(guī)格: 型號:EUV200NS-35 類型:UV紫外線燈管
技術參數(shù):200W,1.4A,管徑18-20MM,口金徑22MM,全長525MM,發(fā)光長450MM,UV特性254NM,壽命:5000H
產品特點:
1.光洗凈.光表面改質
2.光酸化水處理.促進酸化水處理
3.分解難分解的有機污染物.殺菌
應用范圍:
大規(guī)模集成電路的密度越來越高,晶格的微細化越來越密,要求表面的潔凈度越來越高,光清洗可以有效地實現(xiàn)表面清潔度,而且對芯片表面不會造成損傷。
在半導體生產中,硅晶片涂保護膜、鋁蒸發(fā)膜前進行光清洗,可以提高粘合力,防止針孔、裂縫的發(fā)生