量身定制的測量系統(tǒng)
NanoFocus可提供?surf custom以滿足客戶的具體要求。采用了模塊化設(shè)計,豐富的硬件與軟件可以由客戶選擇。歸功于模塊化設(shè)計,測量系統(tǒng)可滿足不同的測量任務(wù)和自動化需求,測量方便、準(zhǔn)確。usurf custom是自動化質(zhì)量控制的保證,在研究實驗室和生產(chǎn)環(huán)境有廣泛的應(yīng)用。
μsurf custom量身定制的測量系統(tǒng)可在同一臺機器上搭配基于不同技術(shù)的多種傳感器以滿足不同的測量需求,根據(jù)測量需求及應(yīng)用,我們可為您配備*的傳感器,同樣,為了保證zui高舒適級別的用戶體驗,所有的傳感器控制都集成在同一軟件中。
定制化共聚焦系統(tǒng)應(yīng)用
μsurf系列用來測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
精密部件:檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件,比如發(fā)動機汽缸、刀口等;
生命科學(xué):測量stents支架上鍍層厚度等
微電子機械系統(tǒng):微型器件的檢測,醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測,如基因芯片等
半導(dǎo)體:檢測微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計
太陽能:太陽能電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量,制絨后3D形貌表征(單晶金字塔大小、數(shù)量、角度,多晶腐蝕坑形貌、密度),粗糙度分析等
紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測量
LED:用于藍(lán)寶石襯底的測量,抽檢PSS ICP后的WAFER的3D形貌
定制化共聚焦系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測量時間:2~10秒
測量原理:非接觸、共聚焦
X/Y方向:平臺移動范圍:100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可選),馬達驅(qū)動,X/Y方向分辨率:0.3μm
Z方向測量范圍:350μm,Z方向分辨率:< 1nm
物鏡:10X、20X、50X、100X(可選)
離軸攝像頭(10X),zui大視野8 x 6 mm2(選配)
計算機:高性能計算機控制系統(tǒng),功能強大且全面的軟件,有拼接功能
配有專業(yè)工作臺:尺寸1550x800x750 mm (LxH)
工作電源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA
材質(zhì):鋼鐵、橡膠、大理石
重量:約150KG+80KG
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
定制化共聚焦系統(tǒng)
μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù),結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動,以類似斷層攝影方式,可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式,不會破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測量,也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測量漸變較大的高度時,跟其他方法相比,可以更精確量測物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢相當(dāng)明顯。