產(chǎn)品詳情
型號:OTF-1200X-II-ZL
產(chǎn)品概述:OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內(nèi)部移動的(在真空氣氛保護(hù)環(huán)境下移動)管式爐,最多可依次移動4個坩堝。特殊的坩堝推送機(jī)構(gòu),可將坩堝在爐管內(nèi)推出后再拉回,讓坩堝能做往返移動。坩堝移動位置&爐體的溫度控制都采用一觸摸屏控制。此款設(shè)備可進(jìn)行物理化學(xué)混合沉積(HPCVD),快速熱蒸發(fā)(RTE)等實(shí)驗(yàn),特別適合制備多層二維晶體材料。
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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
開啟式管式爐 | 雙溫區(qū)管式爐:兩個獨(dú)立的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制兩個溫區(qū) 加熱區(qū)長度:溫區(qū)1:200mm, 溫區(qū)2:200mm 爐管材料:高純石英 爐管尺寸:外徑: 60 ×內(nèi)徑: 54×長: 760 mm 溫度曲線圖(兩個溫區(qū)設(shè)置在800℃時所測,僅供參考)(可點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)) 
工作溫度:1200℃(<1hr) 連續(xù)工作溫度:1100℃ 控溫精度:+/-1℃ 
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真空密封 | 配有不銹鋼密封法蘭,上面安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表 進(jìn)氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭,出氣端法蘭接口為KF25接口 法蘭密封圈采用水冷卻,使用時需要通入冷卻水,可在本公司選購循環(huán)水冷機(jī) 真空度:10E-2 torr(采用機(jī)械泵),10-E5 torr(采用分子泵) 
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坩堝移動機(jī)構(gòu)(轉(zhuǎn)輪式法蘭) | 一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入到爐管內(nèi)部,并與坩堝相連接(圖1) 通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動使坩堝移動,并和熱電偶和坩堝一起移動,實(shí)時監(jiān)測樣品的溫度 進(jìn)氣端法蘭轉(zhuǎn)輪式法蘭(圖2) 可同時在轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)中放入4個坩堝,可交替將放入4種材料的石英坩堝自動送入到石英管中(可在真空狀態(tài)或氣氛保護(hù)狀態(tài)進(jìn)行運(yùn)作)
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坩堝移動控制 |
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防腐型數(shù)顯真空計(jì) | 配有一數(shù)顯防腐型真空計(jì) 當(dāng)氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性 因?yàn)閭鞲衅魃襄冇型繉?,所以具有較好的抗腐蝕性 測量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr
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混氣系統(tǒng) |
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產(chǎn)品尺寸 | 2400L×600W×1300mm H  |
國家 | |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含爐管,密封圈和加熱元件) |
質(zhì)量認(rèn)證 |
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使用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
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應(yīng)用注意事項(xiàng) | |