型號:GSL-1700X-SPC-2
產(chǎn)品概述:GSL-1700X-SPC-2是一款小型臺式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀,可以設(shè)定程序,精確控制溫度200oC~1500oC(或者1200oC~1700oC),樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
設(shè)備名稱 | 小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀--GSL-1700X-SPC-2 (2019.11.25—科晶實驗室審核) |
產(chǎn)品提示 | 1.科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span> 2.圖片未及時更新提示 3.多種配件可選提示 |
主要特點 | ·直徑6英寸的石英腔體,便于清潔和放入樣品。 ·安裝有一個2英寸的樣品臺,并且樣品臺可以旋轉(zhuǎn),使所制薄膜更加均勻。 ·樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié) ·氣體流量端口和閥門內(nèi)置可用于腔室凈化和CVD實驗。
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基本參數(shù) | ·控溫方式:手動控溫/程序控溫 ·控溫精度:+/-1℃ ·腔體真空度:5*10^-3Pa(表壓只能顯示到 1*10^-1Pa) ·樣品室:石英腔體:167mm OD. x 152mm ID x 260mm H ·基片:可裝載基片尺寸為 50mm ·輸出電壓:DC 18V ·輸出電流:≤ 20A ·輸入電源:AC220V/50HZ ·輸入功率:<500W |
溫控及加熱源 | ·采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,并且配有專用的氧化鋁坩堝,熱電偶安裝在坩堝底部,以便于溫度測量和控制。(圖1) ·采用S型熱電偶(工作溫度為200℃-1500℃)(圖2) ·可選B型熱電偶(工作溫度為1200℃-1700℃) ·安裝有一個數(shù)顯的溫度控制器:可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1oC(圖3) ·溫度控制器的時間設(shè)置以秒為單位,建議將升溫/降溫速率限制在1200oC以下0.3oC/s(20oC/ min),在1200 - 1500oC限制到0.15oC/s(10oC/min) ·儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝(圖4、圖5)
圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 |
進氣口 | ·進氣接口為1/4NPS,可向真空腔體中通入惰性氣體,對腔體進行清洗,也可通入反應(yīng)氣體,進行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜 ·進氣口安裝有一針閥,用于調(diào)節(jié)進氣流量 |
尺寸 | ·L440mmx W330mm x H630mm
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重量 | 40 kg |
認證 | ·所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。 |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |