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廣電計量檢測集團股份有限公司

光刻工藝HMDS鍍膜機,MOS器件HMDS鍍膜 機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2021/10/22 13:13:19
  • 訪問次數(shù)4118
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網(wǎng)絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
用途 HMDS預處理 重量 160kg
光刻工藝HMDS鍍膜機,MOS器件HMDS鍍膜 機涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關鍵步驟。
光刻工藝HMDS鍍膜機,MOS器件HMDS鍍膜 機 產(chǎn)品信息

光刻工藝HMDS鍍膜機,MOS器件HMDS鍍膜 機用途: 
  光刻膠倒膠缺陷對于最終的產(chǎn)品良率有著極大的影響。光刻膠倒膠缺陷的產(chǎn)生,很大一部分原因是由于晶圓表面接觸角不佳。光刻的六甲基二硅胺烷(HMDS)涂布工藝正是改善晶圓表面接觸角的關鍵步驟。
光刻工藝HMDS鍍膜機,功率MOS器件HMDS鍍膜機特點:

1.HMDS是以氣態(tài)形式氣相涂布在器件(硅片、氮化鎵、砷化鎵、藍寶石、玻璃、陶瓷等材料)表面;

2.在顯影過程中無需去除硅片表面的HMDS層;

3.在HMDS上面滴光刻膠甩涂時,光刻膠內的溶劑不會破壞HMDS層;

4.多余的HMDS蒸汽將由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道,不會造成環(huán)境污染;

5.所有制程都在密閉的腔體內完成,操做是不會接觸到HMDS蒸汽,該設備具有HMDS藥液泄漏檢測報警裝置;

6.可保存多個產(chǎn)品制程,制程工藝一鍵完成,無需值守人員。

光刻工藝HMDS鍍膜機,MOS器件HMDS鍍膜 機技術性能:

1.設備品牌:雋思                                                        
2.工作室尺寸(mm): 450*450*450,500*500*600 可定制

3 外形尺寸:以實物為準

4. 材質:設備內腔采用優(yōu)質耐腐蝕、耐高溫316L醫(yī)用級不銹鋼,外箱采用優(yōu)質冷軋板靜電噴塑或優(yōu)質不銹鋼,

5. 溫度使用范圍 :80-200℃ 

6. 溫度分辨率 :0.1℃

7. 溫度波動度: ≤±0.5

8. 真空壓力: ≤100pa 

9.數(shù)據(jù)記錄:可記錄溫度、壓力等工藝數(shù)據(jù)

10.工藝安全:具有溫度鎖定功能

11.管路加熱:藥液輸送管道可預熱

12. 控制模式 :人機界面+PLC

13.藥液瓶 :優(yōu)質耐壓防爆型

14. 藥液控制 :可控制HMDS藥夜添加量

15.真空泵:旋片式油泵或渦旋干泵

16. 保護裝置:HMDS藥液泄漏檢測裝置,HMDS自動添加,超溫保護,漏電保護,過熱保護等


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