美國ARS 公司的PS-CC閉循環(huán)探針臺用于樣品的非破壞性檢測，測試靈活，廣泛應(yīng)用于直流（DC），射頻（RF）,MEMS, 納米電子，超導(dǎo)性，納米電路的光電特性，量子點和量子線，非破壞性測試等。
該款探針臺使用DE204、DE210或DE215系列冷頭，整個測試過程中無需使用任何制冷劑（液氦/液氮）?？筛鶕?jù)不同測試要求，選用不同型號冷頭，以便樣品溫度到達13K、<10K、7K或<4K。所有的ARS閉式循冷頭均采用高制冷量的一級冷頭，該設(shè)計可使系統(tǒng)快速降溫并降低系統(tǒng)熱負載。氣動驅(qū)動GM冷頭一級制冷量高，固有振動小，是該領(lǐng)域的理想選擇。
該系統(tǒng)為科研工作者提供一個大的、潔凈的樣品環(huán)境。真空腔由焊接不銹鋼制成，防熱輻射屏由鍍鎳的無氧銅OFHC制成。鎳鍍層的低輻射率和無氧銅的高熱傳導(dǎo)使得樣品空間的防熱輻射屏溫度更低凈制冷量更大。高質(zhì)的真空器件至關(guān)重要，可以使樣品獲得更高的真空環(huán)境，更潔凈的表面，更好的電接觸。
ARS既生產(chǎn)冷頭又生產(chǎn)探針臺的一站式生產(chǎn)確保了該產(chǎn)品的穩(wěn)定性能，也利于系統(tǒng)的診斷和服務(wù)。
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| 上圖為探針臺樣品區(qū) | 上圖為定制的樣品座及4個DC探針 |
特點 | 備注 |
溫度范圍：7K-400K | |
10英寸不銹鋼真空室 | |
8英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 | |
2.25英寸鍍金無氧銅樣品臺 | 可升級4英寸樣品臺 |
高純石英觀察窗 | |
藍寶石防熱輻射屏冷窗 | |
多至6個三維微操作探針臂 | |
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂 | |
控溫系統(tǒng)：高精度4通道控溫儀、用于測量樣品溫度的校準行硅二極管溫度計（±12mK）、加熱器 | 溫度計安裝位置： 1、冷頭溫度計，用于診斷 2、樣品臺溫度計及加熱器，用于控制樣品臺溫度，實現(xiàn)精確控溫 3、樣品溫度計，用于精確測量樣品溫度 4、冷屏溫度計及加熱器，用于控制加熱冷屏溫度，實現(xiàn)快速換樣 |
三級減振系統(tǒng)樣品臺綜合振動 < 1微米 | 樣品臺振動 < 100nm |
7:1顯微觀測系統(tǒng)，3微米分辨率，環(huán)形光源 | 可升級16:1顯微觀察系統(tǒng) |
規(guī)格及技術(shù)參數(shù) | |
制冷方式 | 閉循環(huán)制冷，無需液氦 |
溫度范圍 | 7K-400K （可選更高制冷量DE215冷頭冷臺溫度<4K,安裝高溫隔熱臺高溫度可達800K） |
溫度穩(wěn)定性 | 優(yōu)于50mK |
泵抽真空時間 | 機械泵約45分鐘 分子泵約10分鐘 |
降溫時間 | 約2到2.5小時（DE204P冷頭） |
真空腔 | 不銹鋼真空腔 直徑10英寸 上蓋安裝高純石英窗口 |
防熱輻射屏 | 鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 直徑8英寸 上蓋藍寶石冷窗 熱連接至1級冷頭 |
樣品臺 | 鍍金無氧銅樣品臺 2.25英寸直徑 |
樣品臺連接 | 接地（標準） 絕緣（可選） 偏壓，通過同軸電纜至外部BNC接頭（可選） 偏壓到Guard，通過同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭（可選） |
探針臂位移臺 | 手動驅(qū)動 不銹鋼焊接波紋管連接 X方向（軸向）2英寸行程 Y方向（橫向）1英寸行程（標準） 2英寸行程（可選） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程 刻度10微米 靈敏度5微米 |
振動 | 三級減振，樣品臺綜合振動優(yōu)于1微米 |
溫度計安裝 | 4個溫度計，2套加熱器 4個溫度計位置： 1個DT-670B-SD溫度計安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個DT-670B-SD安裝于樣品臺底部用于控溫 1個DT-670B-SD安裝于冷頭位置用于診斷 1個校準型DT-670-CU-4M溫度計安裝在樣品臺頂部樣品附近，用于精確測溫 2套加熱器位置： 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統(tǒng)快速升溫 |
顯微觀測系統(tǒng) | 標準7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野 工作距離：89毫米 數(shù)值孔徑：0.024-0.08 光源：環(huán)形光源 分辨率：3微米 安裝手動三維位移臺 高分辨率24英寸顯示器 可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野 工作距離：89毫米 數(shù)值孔徑：0.0090-0.15 光源：環(huán)形光源 分辨率：2微米 安裝手動三維位移臺 高分辨率24英寸顯示器 |
探針臂 | |
直流/低頻探針臂 | 微型同軸電纜 接頭：SMA或BNC 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 包含接地屏蔽接頭 三同軸電纜 接頭：三同軸接頭 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 卡爾文探針 電纜：同軸或三同軸 接頭：SMA/BNC/三同軸 頻率：0-100兆赫茲 針尖材料： 鎢針（標準） 鍍金鎢針（可選） 鈹銅鍍金（可選） 針尖半徑： 0.5微米（其他半徑可選） |
GSG高頻探針臂 | 0-40GHz 接頭：K型接頭 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭：2.4 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭：1.85 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 |
光纖探針臂 | 紫外/可見 或 可見/紅外 接頭：SMA905公頭 光纖樣品端：拋光裸頭 尺寸：100微米-400微米 單?；蚨嗄?/span> |
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