冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
儀器照片 |
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儀器名稱 | 場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡 |
儀器型號 | 美國FEI Quanta 400 FEG |
儀器簡介 | Quanta FEG場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡綜合場發(fā)射電鏡高分辨和ESEM環(huán)境掃描電鏡適合樣品多樣性的優(yōu)勢,可對各種各樣的樣品(包括導(dǎo)電樣品、不導(dǎo)電樣品、含水含油樣品、加熱樣品等等)進(jìn)行高分辨的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)觀察和分析。 |
技術(shù)參數(shù) | ?MonoCL3+陰極熒光譜儀,波長范圍160-930nm ?電子束感生電流(EBIC) ? STEM探測器 ? Apollo 40 SDD能譜儀 ? 液氮冷臺,溫度范圍為-185℃- +200℃ ? 液氦冷臺,溫度范圍為6K-300K |
儀器功能 | ? 可在高真空、低真空(130Pa)、環(huán)境真空(4000Pa)下觀察導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品,對材料的表面和橫截面的微觀形貌、成分進(jìn) 行分析,廣泛應(yīng)用于金屬材料、高分子材料、半導(dǎo)體材料、納米材料等領(lǐng)域; ? 配備的Apollo40 SDD能譜無需液氮制冷,可進(jìn)行快速的點(diǎn)、線、面分布分析,獲得能譜的mapping圖譜; ? 其樣品室直徑達(dá)284 mm,對于直徑達(dá)四英寸硅片可以直接進(jìn)行測試,無需對樣品進(jìn)行分割處理; |
檢測案例一 (圖片) |
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檢測案例二 (能譜) |
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樣品要求 | 建議提供文獻(xiàn)圖片或者以前做過的圖片,如果沒有,檢測要求需詳細(xì)填寫??商峁?/span>12張圖片:即篩選出三個(gè)比較好的區(qū)域,每個(gè)區(qū)域提供3-4張不同放大倍數(shù)滿足測試要求的圖片,對于找不到符合測試要求的區(qū)域的樣品,我們將會多拍一些區(qū)域以證明樣品的真實(shí)情況!寄送樣品質(zhì)量大于20mg。 |