氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)采用PLC控制,先對(duì)被檢工件抽空到設(shè)定的真空度,然后切換到檢漏狀態(tài),對(duì)工件噴氦檢漏,用檢漏儀檢測(cè)工件的漏率。整個(gè)系統(tǒng)確保檢測(cè)精度高、檢測(cè)效率高、長(zhǎng)期可靠、安全使用。真空壓力變化、漏率變化等都可以在觸摸屏上顯示,閥門等能通過(guò)觸摸屏操作。
本裝置包括氦質(zhì)譜檢漏儀及多工位真空排氣兩大部分。真空排氣作為整個(gè)檢漏系統(tǒng)的預(yù)抽真空泵組,系統(tǒng)通過(guò)真空閥門切換進(jìn)行分時(shí)抽空檢測(cè)。從而實(shí)現(xiàn)縮短檢測(cè)周期,提高設(shè)備使用效率。