詳細(xì)信息
產(chǎn)品介紹:
波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調(diào)諧激光探測(cè)硅片厚度的硅片厚度測(cè)試儀。 基于高速波長(zhǎng)掃描的激光器可以實(shí)現(xiàn)每波長(zhǎng)更高功率的測(cè)量,從而實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍,甚至在未拋光的晶片上也可以進(jìn)行厚度測(cè)量,例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調(diào)諧的波長(zhǎng)掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構(gòu)成。 波長(zhǎng)掃描光聚焦在目標(biāo)上,并且在通過傳感器之后由PD檢測(cè)由目標(biāo)表面和背面的反射形成的干涉圖案。
產(chǎn)品特點(diǎn):
l 用于硅晶圓的全光學(xué),非接觸式厚度傳感器
l 高動(dòng)態(tài)范圍,能夠測(cè)量無(wú)序表面
l 能夠在濕法蝕刻期間進(jìn)行原位測(cè)量
產(chǎn)品應(yīng)用:
l 硅片厚度測(cè)量
產(chǎn)品參數(shù):
主要技術(shù)指標(biāo) | 硅片厚度測(cè)試傳感器(SIT-200) | |
SIT-200 | ||
測(cè)試功能 | - | 硅片厚度 |
厚度測(cè)試范圍 | um | 10~500(n=3.5) |
激光器 | nm | 波長(zhǎng)掃描激光器,1515nm-1585nm |
光輸出功率 | mW | 0.6(Class 1) |
引導(dǎo)光源(基準(zhǔn)光源) | - | RED LD,Laser class 1M |
測(cè)試時(shí)間 | ms | ≥20 |
重復(fù)率 | um | <0.1(3σ) |
監(jiān)控輸出 | - | 干擾信號(hào)(電信號(hào)) |
程控接口 | - | Ethernet(網(wǎng)口) |
電源 | - | AC100-240V(50/60Hz) |
尺寸(WxHxD) | mm | 364x147x391 |
重量 | Kg | 9.0 |
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