特點
1. 環(huán)境控制功能(大氣，真空，液體，溫控等)
AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，限度減小樣品表面吸附水對測試的影響，實現(xiàn)精確的物理特性測量。 真空環(huán)境下可以實現(xiàn)更大范圍的溫度控制。
(3857581號、3926638號)
? 大氣中 ? 液體中 ? 真空中 ? 特殊氣氛(流量控制)
? 溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃) 高溫(室溫～800℃)
? 濕度控制(0～80%)
2. 簡便操作(綜合型Holder Flange)
通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測試模式切換時的支架更換環(huán)節(jié)。
3. 的高性能
采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。
4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度
真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實現(xiàn)高分辨高靈敏的電學性能分析。
規(guī)格
| 分辨率 | 原子相 |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴展至20 mm) |
| 樣品移動范圍 | X-Y stage 5 mm |
| 掃描范圍 | 標準： 20 µm□/1.5 µmH ? 150 µm□/5 µmH ? 15 µm□/1.5 µmH（閉環(huán)差控制） 定位顯微鏡 ? 簡易顯微鏡（×200倍） ? 光學顯微鏡（×1000倍） ? 變焦顯微鏡（×700倍） ? 金相顯微鏡（裝有微分干渉）（×2000倍） |
| 檢測功能 |
|
| 選配件 | 高溫加熱樣品臺 加熱冷卻兼用樣品臺 冷卻真空 溫度控制 |
