【產(chǎn)品簡介】
centrotherm c.OXIDATOR 150是一種高溫爐,是商先創(chuàng)公司熱解決方案為碳化硅(SiC)的氧化專門設(shè)計的。
工藝溫度高達1500℃,可使用氧氣(O2)、一氧化二氮(N2O)、氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)或濕法進行氧化,從而使靈活性與業(yè)經(jīng)證明的工藝質(zhì)量地結(jié)合。擁有無金屬加熱與雙真空裝備,c.OXIDATOR 150目前是市場上的可用有毒氣體的氧化爐。
【適用工藝】
·氧化
【產(chǎn)品優(yōu)點】
·2英寸、3英寸、4英寸與6英寸晶圓或任何組合的批量加工
·加熱速度達到7.5度/分鐘
·批量多達50片(150毫米)晶圓
·加工壓力范圍從850毫巴到大氣壓