【產(chǎn)品簡介】
全新的 DektakXT 成為一臺采用具有單拱龍門式設(shè)計(jì),配備D 攝像機(jī),并且利用 64 位同步數(shù)據(jù)處理模式完成精準(zhǔn)測量和操作效率的臺階儀。過去四十多年間,布魯克的臺階儀研制和生產(chǎn)一直在實(shí)踐上不斷實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新,DektakXT 延續(xù)了這種開創(chuàng)性的風(fēng)格。
【主要應(yīng)用】
1、 主要用于膜厚、應(yīng)力、表面粗糙度和表面形貌的測量,實(shí)現(xiàn)納米尺度的表面輪廓測量;
2、 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、MEMS、金屬鍍層、油漆鍍層、玻璃鍍膜、太陽能、LED、觸摸屏、醫(yī)療等領(lǐng)域。
【主要參數(shù)】
垂直量程 | 1mm |
垂直分辨率 | 0.1nm |
單次掃描長度 | 55mm ( 200mm) |
樣品高度 | 50mm |
樣品臺尺寸 | 100mmX100mm (手動) 150mmX150mm(自動) |
樣品臺旋轉(zhuǎn) | 360 度連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
臺階測試精度 | <5Å( 1sigma on 1μm step) |