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EVG 520IS晶圓鍵合系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2021/6/29 16:38:23
  • 訪問次數(shù)663
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亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術團隊,專業(yè)服務于混合電路、光電模塊、MEMS、*封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術方案?! ∧壳皝喛齐娮右雅c眾多微電子封裝和半導體制造設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供*的設備和專業(yè)的技術服務打下了堅實基礎。   亞科電子目前客戶遍及國內(nèi)所有科研院所、高校和研發(fā)制造企業(yè),已成功地服等各研究所;清華大學、北京大學、復旦大學等各大高校;三安集成、華潤微電子等多個制造企業(yè)。   亞科電子歷年來秉承“專業(yè)服務,全面服務”的宗旨,為客戶提供整套技術工藝和設備方案。通過專業(yè)的技術服務,實現(xiàn)了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設備和專業(yè)的技術服務是我們成功的基石,亞科電子期待與更多國內(nèi)外客戶的合作。
表面處理儀 X射線衍射儀
EVG 520IS是一款半自動、適合小批量生產(chǎn) 的鍵合系統(tǒng),支持例如陽極鍵合、熱壓鍵合、漿料中間層鍵合、熔融鍵合、硅硅直接鍵合等常見的晶圓鍵合工藝。擁有專用的快速加熱/冷卻的卡盤和獨立的頂部/底部加熱器、及大壓力鍵合系統(tǒng)。
EVG 520IS晶圓鍵合系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡介:

EVG 520IS是一款半自動、適合小批量生產(chǎn) 的鍵合系統(tǒng),支持例如陽極鍵合、熱壓鍵合、漿料中間層鍵合、熔融鍵合、硅硅直接鍵合等常見的晶圓鍵合工藝。擁有專用的快速加熱/冷卻的卡盤和獨立的頂部/底部加熱器、及大壓力鍵合系統(tǒng)。

 

主要特點及參數(shù):

·支持8英寸(200mm)晶圓

·支持從單芯片鍵合到晶圓鍵合

·鍵合壓力:100KN

·鍵合溫度:550℃(可選配至650℃)

·真空度:10-5mbar(可選配至10-6mbar)

·可配雙鍵合腔室

關鍵詞:加熱器 芯片
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