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CentroTherm RAPID200快速熱處理系統(tǒng)

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  • 公司名稱亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/6/29 16:20:21
  • 訪問(wèn)次數(shù)590
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亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以來(lái)就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、*封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測(cè)、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案?! ∧壳皝喛齐娮右雅c眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供*的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。   亞科電子目前客戶遍及國(guó)內(nèi)所有科研院所、高校和研發(fā)制造企業(yè),已成功地服等各研究所;清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等各大高校;三安集成、華潤(rùn)微電子等多個(gè)制造企業(yè)。   亞科電子歷年來(lái)秉承“專業(yè)服務(wù),全面服務(wù)”的宗旨,為客戶提供整套技術(shù)工藝和設(shè)備方案。通過(guò)專業(yè)的技術(shù)服務(wù),實(shí)現(xiàn)了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)是我們成功的基石,亞科電子期待與更多國(guó)內(nèi)外客戶的合作。
表面處理儀 X射線衍射儀
CentroTherm RAPID200快速熱處理系統(tǒng)
CentroTherm RAPID200快速熱處理系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
 
centrotherm c.RAPID 200 RTP 系統(tǒng)是一種靈活的工藝設(shè)備,用于在惰性加工環(huán)境或活性加工環(huán)境下對(duì)硅、鍺與化合物半導(dǎo)體晶圓與器件進(jìn)行均勻的可控加熱。商先創(chuàng)公司以合理的成本把精密溫度與環(huán)境控制以及自動(dòng)晶圓運(yùn)輸技術(shù)運(yùn)用于小尺寸晶圓加工。c.RAPID 200 加熱條件從200°C到1200°C不等,加熱時(shí)間從幾秒鐘到幾分鐘不等。采用*的反饋溫度控制與現(xiàn)代圖形用戶界面。模塊化系統(tǒng)設(shè)計(jì)允許采用同樣的加工反應(yīng)腔與加工配方進(jìn)行大批量制造的開發(fā)與小規(guī)模試驗(yàn)性生產(chǎn)配置。
 
【適用工藝】
 
·STI襯墊
·增強(qiáng)高k介質(zhì)界面的可靠性
·界面氧化物生成與退火
·沉積氧化物致密化
·FinFET 柵氧化
·RRAM與MRAM金屬氧化
 
【產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)】
 
·加工多種材料,包括Si、化合物半導(dǎo)體(SiC、GaN、InP、GaAs)、藍(lán)寶石等
·能夠加工支撐架上或在“盒”內(nèi)的晶圓或器件
·全自動(dòng)或半自動(dòng)晶圓運(yùn)輸(包括每次行程運(yùn)輸多片晶圓的選項(xiàng))
·*的反饋溫度控制(使用光學(xué)高溫計(jì))
·溫度范圍200至1200°C
·晶圓加工尺寸從100和200毫米
·優(yōu)異的均勻性
·低壓運(yùn)轉(zhuǎn)
 
 
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