ELIAS-VUV
發(fā)射譜線分析光譜儀系列
高分辨率的中階梯光柵光譜儀
· Intensity dynamics of up to 4 orders
· 光譜解析能力 (2.5 million-10 million)
· *成像質(zhì)量
· 簡(jiǎn)單沒有失誤的操作控制
· Motorized optomechanics
ELIAS的超高分辨率得益于超大中階梯光柵的應(yīng)用及與之匹配的光路設(shè)計(jì)——中階梯光柵通過非常高的衍射級(jí)次可獲得*的理論分辨率（femtometer level）；LTB的工程師通過兩個(gè)方面的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)超大中階梯光柵的理論分辨率：
· 逼近衍射極限的消色差成像光路
· 足夠高的線色散來確保以5~10個(gè)像素（CCD）來解析光譜譜線的半高寬；
ELIAS利用寬達(dá)360mm的超大中階梯光柵（Echelle grating）以利特羅（Littow）自準(zhǔn)直結(jié)構(gòu)構(gòu)成光路；ELIAS不同于靠干涉方式測(cè)量光譜的分析設(shè)備，ELIAS的中階梯光柵的高衍射級(jí)次及高級(jí)次等效于零級(jí)的衍射能量分布，可通過CCD實(shí)現(xiàn)寬光譜直拍，因此ELIAS非常適合脈沖激光光譜的分析應(yīng)用（通過外部TTL觸發(fā)可協(xié)同激光器工作）。ELIAS可以配置背照型科學(xué)級(jí)CCD作為探測(cè)器可獲得非常理想的信噪比（104）
規(guī)格參數(shù)（Specifications）
| 可探測(cè)信號(hào)模式 | CW/Pulsed |
可探測(cè)光譜范圍 | 190~1100nm(157nm possible) |
光譜解析能力(λ/?λ) | 8,800,000 |
光譜分辨率 | 22fm@193nm |
| 光譜精度 | 0.1pm |
| 光譜窗口 | >0.8nm |
| 可探測(cè)脈沖能量 | <10μJ |
信號(hào)輸入模式 | Fiber，SMA，Mirror，F(xiàn)ree Space |
校準(zhǔn)方式 | full auto/Manual；Hg（Neon）Lamp |
觸發(fā)模式 | TTL+5V |
| 工作環(huán)境要求 | 溫度：10~30℃；濕度：<65% |
ELIAS VUV :ELIAS I 的vacuum-suited型號(hào)，用于波長為157nm的F2激光的光譜分析
| Model | ELIAS VUV | |
|---|---|---|
| Pass | single | double |
| Wavelength [nm] | λsimul [pm] | λsimul [pm] |
| 157 | 45 | 14 |
| 193 | 48 | 15 |
| 248 | 64 | 20 |
| 266 | 73 | 25 |
| 532 | 146 | 49 |
| 766 | 244 | 82 |
| 1,064 | 292 | 98 |
| Wavelength [nm] | FWHM [pm] | FWHM [pm] |
| 157 | 0.254 | 0.083 |
| 193 | 0.283 | 0.086 |
| 248 | 0.376 | 0.117 |
| 266 | 0.428 | 0.147 |
| 532 | 0.856 | 0.294 |
| 766 | 1.400 | 0.482 |
| 1,064 | 1.711 | 0.588 |
應(yīng)用領(lǐng)域（Application）
· 激光誘導(dǎo)擊穿光譜（LIBS）
· 準(zhǔn)分子激光光刻技術(shù)
· 測(cè)量二極管激光器的光譜、時(shí)間穩(wěn)定度和固態(tài)激光器的發(fā)射譜線
