▼概要
MSV-5000系列是測量紫外區(qū)域到近紅外區(qū)域廣范圍波長領(lǐng)域內(nèi)的微小樣品以及微小部位的透過?反射測量的顯微分光系統(tǒng)。廣泛應(yīng)用于電子元件的透過?反射特性的評價、半導(dǎo)體的能隙測量,計測膜厚、功能性結(jié)晶光學(xué)特性評價、色彩分析等領(lǐng)域。
◆特點
可以測量從紫外區(qū)域到近紅外區(qū)域連續(xù)的透過?反射光譜*1
搭載具有高波長分辨率和波長準(zhǔn)確性的單色器
雙光束光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)異的測光穩(wěn)定性
測量領(lǐng)域尺寸最小φ10μm *2
樣品觀測采用高解像度照相機畫像
標(biāo)配偏光測量功能
搭載自動XYZ樣品臺(選項)映射測量?多點測量
JASCO光譜管理器實現(xiàn)簡單輕松的操作環(huán)境
*1. MSV-5200/5300
*2. 最小可測量尺寸根據(jù)測量條件?測量樣品而不同。
◆ 測量LCD面板的RGB濾光片
▼測量LCD面板用彩色濾光片的透過率
RGB的副像素為單位、光圈φ10μm測量透過光譜(右圖)。
▼LCD面板顯微畫像
▼規(guī)格
▼MSV-5000
|