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EM遠(yuǎn)程等離子清潔儀等離子清洗機(jī)

參考價(jià)	￥ 10000
訂貨量	≥1臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱邁可諾技術(shù)有限公司
品牌其他品牌
型號(hào)EM-KLEEN
所在地上海市
廠商性質(zhì)代理商
更新時(shí)間2022/10/14 9:28:52
訪問(wèn)次數(shù)640

產(chǎn)品標(biāo)簽:

等離子清洗機(jī)

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

　邁可諾公司全稱“邁可諾技術(shù)有限公司”，英文簡(jiǎn)稱“MYCRO”。這是一家富有創(chuàng)新精神的化高科技公司，專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商，公司網(wǎng)址為 ?！　∽鳛楣I(yè)實(shí)驗(yàn)室市場(chǎng)領(lǐng)域的，邁可諾從事開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)并營(yíng)銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)，幫助客戶和合作伙伴取得成功?！　∵~可諾成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定，尊重他們的決定，并協(xié)助他們實(shí)現(xiàn)高效率的科研成果，追求豐富有意義的生活。

主營(yíng)產(chǎn)品：勻膠機(jī)，旋涂?jī)x，甩膠臺(tái)，勻膠臺(tái)，涂層機(jī)，涂膠機(jī)，涂膜機(jī),旋轉(zhuǎn)涂敷儀, HPC,PPC, PAC，SCE系列等離子清洗機(jī)， Cargille光學(xué)試劑，光刻機(jī)/曝光機(jī)，壓力機(jī), 壓片機(jī), 熱壓機(jī)，WABASH熱壓機(jī), CARVER熱壓機(jī),LAURELL勻膠機(jī)、HOT PLATE熱板烤膠機(jī)
Laurell勻膠機(jī)
Harrick等離子清洗機(jī)
Carver手動(dòng)壓片機(jī)
Uvitron紫外固化箱
Novascan紫外臭氧清洗機(jī)
Wenesco/EMS/Unitemp加熱板
Kinematic程序剪切儀
Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng)
NXQ光刻機(jī)
Anatech等離子系統(tǒng)
Wabash/Carver自動(dòng)壓片機(jī)

展開(kāi)顯示更多內(nèi)容

光學(xué)試劑，勻膠機(jī)，等離子清洗機(jī)，熱板，光刻機(jī)，壓片機(jī)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

等離子源真空接口	NW/KF40 法蘭

遠(yuǎn)程等離子清潔的原理

遠(yuǎn)程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上，控制器向遠(yuǎn)程離子源提供射頻能量。射頻電磁場(chǎng)能激發(fā)等離子體，分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基，活性基會(huì)擴(kuò)散到下游的真空腔室，并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī)可同時(shí)清潔真空系統(tǒng)和樣品。

EM遠(yuǎn)程等離子清潔儀等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品信息

技術(shù)特點(diǎn)：

快速清潔被污染的SEM樣品。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品。不需減速或關(guān)閉渦輪分子泵

低等離子偏壓設(shè)計(jì)減少離子濺射和顆粒生成。結(jié)合多級(jí)氣體過(guò)濾技術(shù)，SEMI-KLEEN能夠滿足用戶苛刻的顆粒污染清除要求

可選藍(lán)寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應(yīng)用

*的等離子強(qiáng)度傳感器可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子狀態(tài)，用戶對(duì)等離子狀態(tài)一目了然

基于壓力傳感回饋控制的自動(dòng)電子流量控制器，無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)針閥

直觀的觸摸屏操作，可定義60條清洗程序方案

擁有智能安全操作模式和專家控制模式；SmartScheduleTM定時(shí)裝置，通過(guò)檢測(cè)樣品裝載次數(shù)或時(shí)間間隔來(lái)定時(shí)清潔系統(tǒng)

技術(shù)指標(biāo)

1. 等離子源真空接口：NW/KF40 法蘭; 提供轉(zhuǎn)接法蘭；

2. 標(biāo)配等離子強(qiáng)度傳感器；