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HMDS真空干燥箱（HMDS-6210）

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公司名稱上海和呈儀器制造有限公司
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更新時間2021/5/19 16:32:28
訪問次數(shù)421

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上海和呈儀器制造有限公司

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外貿(mào)部和售后專線

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銷售部地址：上海市奉賢區(qū)綠地翡翠廣場1號樓1020

公司網(wǎng)址：
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公司專業(yè)生產(chǎn)電子防潮柜；干燥箱；搖床；培養(yǎng)箱；試驗箱等五大系列產(chǎn)品，其產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于：電子；化工；制藥；機(jī)械；高校；醫(yī)療機(jī)構(gòu)；食品；科研單位等各個領(lǐng)域。

公司擁有高效的生產(chǎn)流水線，并匯聚了一批高級技術(shù)人員和具備專業(yè)素質(zhì)的員工。憑借*的技術(shù)，*的人才，*的管理全力打造公司自主品牌—- 。公司自創(chuàng)建以來憑借*的研發(fā)，設(shè)計制造能力不斷創(chuàng)新與世界同步，生產(chǎn)制造符合行業(yè)較早標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。近幾年，公司進(jìn)行了一系列重大投資、改革，涉及生產(chǎn)制造、銷售、售后服務(wù)、技術(shù)研發(fā)及人員培養(yǎng)等。公司在上海奉賢區(qū)建成了具現(xiàn)代化的生產(chǎn)基地，占地面積5000平方米，又相繼成立上海產(chǎn)品服務(wù)中心。

     公司擁有強(qiáng)大的營銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，并把目標(biāo)瞄準(zhǔn)市場，產(chǎn)品已銷往俄羅斯、土耳其、韓國、巴西、阿根廷、印度、巴基斯坦、新加坡、馬來西亞、印度尼西亞等十多個國家和地區(qū)，贏得了國內(nèi)外客戶的廣泛認(rèn)同。

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     HASUC以專業(yè)的技術(shù)，優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，完善的售后服務(wù)在行業(yè)中享有良好的信譽(yù)及口碑，更贏得了每一位客戶及合作伙伴的信任。HASUC一貫秉承：誠信原則，非常重視客戶的意見和感受，讓您滿意是我們的責(zé)任！

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HMDS真空干燥箱（HMDS-6210）品牌：HASUC型號：HMDS-6210

HMDS真空干燥箱（HMDS-6210）產(chǎn)品信息

真空干燥箱（HMDS-6210）主要特點真空干燥箱外形為臥式，工作室材料采用不銹鋼，形狀為方型，比圓形擴(kuò)大了使用空間。

HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。真空干燥箱將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)真空烤箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

真空干燥箱產(chǎn)品詳細(xì)資料：
HMDS真空烤箱（HMDS-6210）系列預(yù)處理系統(tǒng)的原理：
HMDS-6000 預(yù)處理系統(tǒng)通過對真空烤箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

真空干燥箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號： HMDS-6210 HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)
產(chǎn)品型號： HMDS-6210
產(chǎn)品名稱： HMDS真空干燥箱6210
電源電壓：AC 380V±10%/50Hz±2%
達(dá)到真空度：133Pa
容積：210L
工作室尺寸（mm）：560*640*600
外形尺寸（mm）：720*820*1750
載物托架：3塊
時間單位：分鐘
輸入功率：4000W
控溫范圍：室溫+10℃-250℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動度：±0.5℃

真空泵：旋片式油泵。

產(chǎn)品特點：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。

真空干燥箱（HMDS-6210）產(chǎn)品特點：
1、真空烤箱機(jī)外殼采用不銹鋼SUS304材質(zhì)制造，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。
3、微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。
4、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。
5、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。
6、整個系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無發(fā)塵材料，適用100 級光刻間凈化環(huán)境。

尾氣排放等：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到廢氣收集管道。在無廢氣收集管道時需做專門處理。

HMDS真空烤箱（HMDS-6210）的一般工作流程：
先確定烘箱工作溫度。真空干燥箱典型的預(yù)處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后，開始充人氮氣，充到達(dá)到某低真空度后，冉次進(jìn)行抽真空、充入氮氣的過程，到達(dá)設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表而生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。

關(guān)鍵詞：真空泵加熱器