日本applics高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備
日本applics高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備
高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備
本裝置は高溫高濃度のオゾン水を 1ppm 以下の濃度に 分解します。冷卻受水槽を用いることで 70℃のオゾン水 を 35℃まで冷卻し、紫外線の後段に活性炭槽を設(shè)けるこ とで、1ppm 以下まで分解する構(gòu)造となっています。
這是一種具有冷卻功能的臭氧水分解裝置，其內(nèi)部具有經(jīng)過驗(yàn)證的臭氧水分解裝置。它主要用于分解半導(dǎo)體或液晶制造過程中使用的純臭氧水。
*尺寸和內(nèi)部安裝零件可能會(huì)因規(guī)格而異。
*照片是設(shè)備的示例。
| 產(chǎn)品名稱 | 高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備 |
|---|---|
| 模型 | OZK-JSHT002 |
| 能力 | *取決于使用條件和環(huán)境。
|
| 原則 | 紫外線照射法 |
| 電源供應(yīng) | 單相AC200V±10％ |
| 評論 | 具有散熱功能 具有各種安全功能和警報(bào) |
製品名 高溫高濃度オゾン水分解裝置 型 式 OZK-JSHT002 原 理 紫外線照射方式及び活性炭通水式 対 象 純オゾン水又は 1%以下の弗酸オゾン水 （石英ガラスを溶解する物質(zhì)や紫外線の透過を妨げる物質(zhì)を含まないこと） 試料水 條 件 1）分解液溫度範(fàn)囲：70℃以下（周囲溫度：20±5℃、50±10％ＲＨ以下） 2） 試料水圧力 ：0.3 MPa 以下（衝撃圧不可） 3）使用流量範(fàn)囲：8L/min 以下 接続口 詳細(xì)仕様書にてご確認(rèn)ください。（通水入口、通水出口） 裝 置 能 力 1）オゾン水分解能力：IN 150mg/L ⇒ OUT 1mg/L ※詳細(xì)條件あり 2）冷卻タンク能力 ：IN 70℃ ⇒ OUT 32.5±3℃ ※詳細(xì)條件あり 3）活性炭タンク能力：通水圧力 0.3Mpa 使用推奨 0.15Mpa 以下 裝置能力の詳細(xì)條件は別資料【納入仕様書】にてご確認(rèn)ください。 安 全 対 策 1）警報(bào)：納入仕様書【付表 1 “警報(bào)時(shí)の機(jī)器別動(dòng)作表”參照 2）裝置內(nèi)機(jī)器：非常停止ボタン、排気圧センサー、オゾンガスモニタ 漏水センサー、液面センサー、メンテナンスパネル開閉センサー搭載 電 源 単相 AC200V±10%、10A?2KVA ※接地必須 接液部材 質(zhì) PFA、PTFE、ETFE、硬質(zhì) PVC、石英ガラス 主 な 材 質(zhì) 1） 本體フレーム?パネル ： SUS304 2） 內(nèi)部支持構(gòu)造部品 ： SUS304、A5052、硬質(zhì)PVC等 3） 排気系配管部品 ： 硬質(zhì)PVC 4） 制御系エア配管部品 ： ポリエチレン 裝 置 外 徑 幅 1350 × 奧行 1600 × 高さ 1350 （突起物含む） 設(shè)置方 法 分解塔：橫置 / 制御ユニット：取付穴（４箇所）を利用して壁面等へ取付 付 屬 品 1）純水供給口変換アダプタ 6）処理水受入口２重配管 2）アラーム信號線 7）プラグ類 3）アンカー用ブラケット 8）敷板 4）アイボルト 9）インシュロック 5）排気口拘束帯 10）シリコン?????
