真空調(diào)節(jié)器是一種復(fù)合式調(diào)節(jié)器, 當(dāng)系統(tǒng)真空管路的真空度增高時(shí), 真空室的真空度隨之增高, 作用在上膜片上的壓力差增大，上膜片克服彈簧的阻力，將通氣螺栓的通氣孔打開(kāi)，真空進(jìn)入緩氣室，緩氣室的氣螺栓孔徑與截流環(huán)孔徑相配，使得下膜片帶著重錘緩慢上移，大氣從重錘開(kāi)啟的縫隙入真空管路。
類(lèi)型1：真空調(diào)節(jié)器
真空調(diào)節(jié)器，如Equilibar EVR系列真空調(diào)節(jié)器，通過(guò)真空泵和過(guò)程之間的節(jié)流來(lái)控制過(guò)程真空。這種類(lèi)型，通常被稱(chēng)為真空調(diào)節(jié)器，實(shí)際上是背壓調(diào)節(jié)器，因?yàn)閴毫刂圃谌肟谔帯Ｕ{(diào)節(jié)器關(guān)閉以增加系統(tǒng)壓力（或降低真空水平）。
在右邊的簡(jiǎn)化示例中，真空調(diào)節(jié)器使用彈簧加載隔膜來(lái)控制真空壓力。過(guò)程真空位于隔膜的下側(cè)，大氣壓力位于頂部。彈簧向上拉以提供負(fù)設(shè)定點(diǎn)偏差。當(dāng)過(guò)程壓力變得太低（真空太強(qiáng)）時(shí)，隔膜降低，限制過(guò)程和真空供應(yīng)泵之間的氣流，從而降低真空水平。當(dāng)壓力增加到設(shè)定點(diǎn)以上（真空度太低）時(shí)，柱塞上升并且過(guò)程和供應(yīng)泵之間的氣流增加，從而增加真空水平。
類(lèi)型2：真空斷路器和真空釋放調(diào)節(jié)器
另一種類(lèi)型的真空控制器使環(huán)境空氣進(jìn)入真空系統(tǒng)以控制真空壓力。這種類(lèi)型的調(diào)節(jié)器通常稱(chēng)為真空斷路器或真空釋放調(diào)節(jié)器。這些調(diào)節(jié)器實(shí)際上是一種減壓調(diào)節(jié)器，因?yàn)閴毫刂圃诔隹谔?。調(diào)節(jié)器打開(kāi)以增加過(guò)程壓力（或降低真空度）。
真空釋放調(diào)節(jié)器通常使用彈簧加載的隔膜，其上側(cè)具有大氣壓力并且在下側(cè)處理真空壓力。在右邊的這個(gè)簡(jiǎn)化示例中，彈簧實(shí)際上將隔膜向上拉以提供負(fù)設(shè)定點(diǎn)壓力。當(dāng)過(guò)程壓力變得太低（真空度太高）時(shí)，柱塞迫使閥座向下，允許更多的外部空氣進(jìn)入過(guò)程。隨著過(guò)程壓力增加（真空壓力增加）朝向設(shè)定點(diǎn)，柱塞再次上升以限制空氣的流入。
