晶圓切割機8020系列可對直徑高8英寸的晶圓進行切割
晶圓切割機8020系列概要
ADT 8020晶圓切割機具有兩個端面主軸,可以同時以高生產率將晶圓切成小塊。 ADT 8020是一種高精度系統(tǒng),可以對直徑高達8英寸的晶圓進行切割,并且具有高性能和低成本。
ADT 8020系列晶圓切割機特點:
·靈活性-支持輪轂和無輪轂葉片,外徑可達3英寸
·1.8 kW或2.4 kW大功率主軸(適用于具有挑戰(zhàn)性的應用)
·切割機具有連續(xù)變焦放大功能的高級視覺系統(tǒng)
·直觀的操作界面,采用大19寸觸摸屏顯示器
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