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快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2021/3/22 10:04:35
  • 訪問次數(shù)5330
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術(shù)進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設(shè)備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網(wǎng)絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
測量范圍 1000 測量精度 1
外形尺寸 658mm 用途 半導體,硅片工藝
重量 153kg
快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐可用于硅及其他化合物材料離子注入后的退火,硅化物形成,歐姆接觸制備以及快速氧化,快速氮化等方面。該設(shè)備具有很好的長時間工作穩(wěn)定性以及快速升降溫,慢速升降溫功能
快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐 產(chǎn)品信息

快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐簡介

快速退火爐(RTP)近年來得到越來越廣泛的應用。可用于硅及其他化合物材料離子注入后的退火,硅化物形成,歐姆接觸制備以及快速氧化,快速氮化等方面。該設(shè)備具有很好的長時間工作穩(wěn)定性以及快速升降溫,慢速升降溫功能,采用三回路閉環(huán)溫度控制,精確的溫度控制部件可適用于特殊工藝要求,工藝重復性高,也可用于鐵電膜的制備以及各種半導體材料CVD的熱處理。

JS-RTP系列快速熱處理退火為我公司根據(jù)客戶需求專業(yè)定制的熱處理設(shè)備,半導體RTP快速退火爐主要用于:快速燒結(jié)、快速退火工藝。具有溫度均勻、控制穩(wěn)定等特點觸摸屏操作方式(設(shè)備小巧,節(jié)約空間)

 

 

快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐主要技術(shù)參數(shù)

1、外型形式:臺式

2、樣品尺寸:2-8英寸

3、外部爐膛:合金鍍金爐膛

4、內(nèi)部爐膛:優(yōu)質(zhì)石英材質(zhì)、可拆下清洗,有進、出氣接口

5、加熱材質(zhì):紅外線燈管加熱

6、顯示:觸摸屏或電腦式

7、溫度范圍:300-1000℃ 

8、控溫精度:±5

9、升溫速率:10℃-50/S可調(diào)

10、降溫速率:10℃-50℃/S不可調(diào)

11、降溫方式:水冷(冷水機或冷水管道+氣冷)

12、工藝氣體:三路,一路氮氣、一路空氣、一路氧氣,配備質(zhì)量流量計,氣體流量動調(diào)節(jié)
13、真空度:可達0.05torr(可選配)
14、真空系統(tǒng):進口無油真空泵
15、保護系統(tǒng):超溫保護,流量保護,計時控制,缺水報警等。

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