Sigma 系列zeiss場發(fā)射電子顯微鏡 掃描電鏡
zeiss場發(fā)射電子顯微鏡 掃描電鏡
Sigma 系列產(chǎn)品用于高品質(zhì)成像與高級分析的場發(fā)射掃描電子顯微鏡.
靈活的探測,4步工作流程,高級的分析性能
將高級的分析性能與場發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合,利用成熟的 Gemini 電子光學(xué)元件。多種探測器可選:用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。Sigma 半自動的4步工作流程節(jié)省大量的時間:設(shè)置成像與分析步驟,提高效率。
Sigma 300 性價比高。Sigma 500 裝配有的背散射幾何探測器,可快速方便地實現(xiàn)基礎(chǔ)分析。任何時間,任何樣品均可獲得可重復(fù)的分析結(jié)果。
產(chǎn)品特點
用于清晰成像的靈活探測
- 利用*探測術(shù)為您的需求定制 Sigma,表征所有樣品。
- 利用 in-lens 雙探測器獲取形貌和成份信息。
- 利用新一代的二次探測器,獲取高達50%的信號圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創(chuàng)新的 C2D 和 可變壓力探測器,在低真空環(huán)境下獲取高達85%對比度的銳利的圖像。
自動化加速工作流程
- 4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環(huán)境中,從快速成像和節(jié)省培訓(xùn)首先,先對樣品進行導(dǎo)航,然后設(shè)置成像條件。
- 首先,先對樣品進行導(dǎo)航,然后設(shè)置成像條件。
- 接下來對樣品感興趣的區(qū)域進行優(yōu)化并自動采集圖像。使用工作流程的一步,將結(jié)果可視化。
高級分析型顯微鏡
- 將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合:Sigma 的背散射幾何探測器大大提升了分析性能,特別是對電子束敏感的樣品。
- 在一半的檢測束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)。
- 獲益于8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角,獲取完整且無陰影的分析結(jié)果。
基于成熟的 Gemini 技術(shù)
- Gemini 鏡頭的設(shè)計結(jié)合考慮了電場與磁場對光學(xué)性能的影響,并將場對樣品的影響降至更低。這使得即使對磁性樣品成像也能獲得出色的效果。
- Gemini in-lens 的探測確保了信號探測的效率,通過二次檢測(SE)和背散射(BSE)元件同時減少成像時間。
- Gemini 電子束加速器技術(shù)確保了小的探測器尺寸和高的信噪比。
用于清晰成像的靈活探測
- 利用新的探測技術(shù)表征所有的樣品。
- 在高真空模式下利用創(chuàng)新的 ETSE 和 in-lens 探測器獲取形貌和高分辨率的信息。
- 在可變壓力模式下利用可變壓力二次電子和 C2D 探測器獲取銳利的圖像。
- 利用 aSTEM 探測器生成高分率透射圖像。
- 利用 BSD4 或者 YAG 探測器進行成份分析。
Sigma 300 可提供
集成式 EDS 解決方案:在低能量分析應(yīng)用中同時實現(xiàn)高清晰度成像
Sigma Element 是一種集成式 EDS 解決方案,擁有高可用性和低電壓靈敏度。僅需使用一臺計算機來控制 EDS 和 SEM,進而大大提升了該集成化解決方案的易用性。同時,借助專門為顯微鏡和 EDS 操作設(shè)計的用戶界面可實現(xiàn)并行控制。
• 集成化:通過集成化,結(jié)合高清晰成像與快速分析,從而獲得不錯結(jié)果
• 定制化:根據(jù)不同的用戶需求定制軟件
• 靈敏度:*的氮化硅窗口增強低能X射線的探測靈敏度
拉曼成像與掃描電鏡聯(lián)用系統(tǒng):*集成化的拉曼成像
獲取樣品中化學(xué)結(jié)構(gòu)的指紋信息:聚焦拉曼光譜成像可擴展您的蔡司Sigma 300 掃描電鏡性能。 分析獲得樣品分子結(jié)構(gòu)和結(jié)晶信息。 通過拉曼成像與EDS數(shù)據(jù)可進行3D 分析并與SEM圖像關(guān)聯(lián)。*集成化的拉曼成像掃描電鏡聯(lián)用系統(tǒng)使你充分發(fā)揮SEM和拉曼系統(tǒng)的功能。
技術(shù)參數(shù)
型號 | Sigma 300 | Sigma 500 |
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電子源 Schottky 熱場發(fā)射器 | Schottky 熱場發(fā)射器 | ||
分辨率* 30 kV(STEM) | 1.0 nm | 0.8 nm |
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分辨率*為15 kV | 1.0 nm | 0.8 nm |
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分辨率* at 1 kV | 1.6 nm | 1.4 nm |
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分辨率* 30 kV(VP模式) | 2.0 nm | 1.5 nm |
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反向散射檢測器(BSD) HD BSD | HD BSD | ||
掃描速度 50 ns /像素 | 50 ns /像素 |
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加速電壓 0.02 – 30 kV | 0.02 – 30 kV |
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放大倍率 10× – 1,000,000× | 10× – 1,000,000× |
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探針電流 3 pA - 20 nA(任選100 nA) | 3 pA - 20 nA(任選100 nA) |
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圖像幀庫 32 k×24 k像素 | 32 k×24 k像素 |
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端口 | 10 | 14 |
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EDS端口 | 2(1個端口) | 3(2個端口) |
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*工作距離; 在終安裝時,分辨率在1kV和15kV高真空系統(tǒng)驗收測試中得到證實 | |||
真空模式 | |||
高真空 | 有 |
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可變壓力 | 10 – 133 Pa |
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Stage 類型 | 5軸同心級 | 5軸偏心平臺 | 5軸同心級選件 |
Stage X行程 | 125 mm | 130 mm | 125 mm |
Stage Y行程 | 125 mm | 130 mm | 125 mm |
Stage Z行程 | 50 mm | 50 mm | 38 mm |
Stage T行程 | -10到+90度 | -4到+70度 | -10到+90度 |
Stage R行程 | 360° 連續(xù) | 360°連續(xù) | 360° 連續(xù) |