純水設(shè)備制造的水是純度*的水。集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。
超純水:既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm極限值。
超純水,是一般工藝很難達到的程度,采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟,多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可達18.25MΩ*cm
純水設(shè)備是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制水設(shè)備,這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,一般不可直接飲用,對身體有害,會析出人體中很多離子。
系統(tǒng)四周應(yīng)留有足夠空間用以連接水管、電源和更換耗材。
機器請安裝在靠近水源、電源和水槽的位置。
水源要求
以自來水為水源的系統(tǒng),要求進水壓力要符合設(shè)備要求,進水管徑不得小于規(guī)定尺寸。
(如果壓力較低將導(dǎo)致系統(tǒng)不能正常運轉(zhuǎn)。如果壓力較高將可能導(dǎo)致系統(tǒng)漏水。)
需考慮進水的硬度,如硬度較高,需首先對進水進行軟化處理。
以純化水為水源的系統(tǒng),要求進水的TDS值需小于20PPM。