Spiricon 公司于1978 年在美國猶他州洛根市成立,提供產(chǎn)品覆蓋深紫外(13nm)到遠(yuǎn)紅外(3000m),可為光刻、激光器制造、激光精密加工、光通訊、太赫茲等應(yīng)用提供合適的光束分析系統(tǒng)解決方案。Spiricon 公司在光束質(zhì)量分析儀領(lǐng)域擁有多項(xiàng),尤其是Ultracal ™逐點(diǎn)背景噪聲扣除技術(shù),協(xié)助制定了ISO 11146-3 號光束質(zhì)量分析精度標(biāo)準(zhǔn)文件。2006 年加入激光量測領(lǐng)域Ophir 集團(tuán)公司,面向激光器制造、激光加工、軍事、醫(yī)療和科研等領(lǐng)域用戶,從而可以提供更加全面的單元和可定制激光量測系統(tǒng)方案。Spiricon國內(nèi)代理請認(rèn)準(zhǔn)先鋒科技。
Spiricon面陣激光光束分析儀
Spiricon 公司激光光束分析系統(tǒng)包含三大部分:CCD 相機(jī)、專業(yè)光束分析軟件及各種應(yīng)用附件。
Spiricon面陣激光光束分析儀
◆ CCD 相機(jī)(光束質(zhì)量分析系統(tǒng)的關(guān)鍵)
在連續(xù)或脈沖模式下,激光打在CCD 相機(jī)的芯片上,通過相機(jī)本身的光電轉(zhuǎn)換,將光信號轉(zhuǎn)換成電信號輸出。
◆專業(yè)光束分析軟件(光束分析系統(tǒng)數(shù)據(jù)/ 圖像處理與運(yùn)算的核心)
測量前:應(yīng)用Ultracal ™,消除背景噪聲;
測量中:接收相機(jī)輸出的電信號,并通過地運(yùn)算從而得出符合ISO 標(biāo)準(zhǔn)的光斑大小、峰值中心、幾何中心、
高斯擬合度等參數(shù);
測量后:測量數(shù)據(jù)與圖像的保存;
可根據(jù)不同的用途,軟件分為標(biāo)準(zhǔn)版、專業(yè)版和企業(yè)版三種。
◆附件(光束分析系統(tǒng)的拓展)
單獨(dú)CCD 相機(jī)無法完成市場上全部激光的光束質(zhì)量分析要求,這就有時(shí)候需要我們增加不同附件來完善CCD相機(jī)的功能:光斑大小可以用縮束/ 擴(kuò)束器進(jìn)行調(diào)節(jié);激光功率/ 能量密度可以用分光器/ 衰減器進(jìn)行降低;硅材質(zhì)相機(jī)對于紫外線相應(yīng)靈敏度降低,造成測量結(jié)果偏差大,用紫外轉(zhuǎn)換器將紫外線轉(zhuǎn)化成可見光,可以完*這一問題。