等離子清洗機 灰化光刻膠聚合物剝離設(shè)備是高精度的干法清洗設(shè)備,等離子清洗機處理范圍為納米級別的有機和無機污染物。 等離子清洗機外觀簡潔,高度集成化,該設(shè)備外觀簡潔、高度集成化,可應(yīng)用在半導(dǎo)體、微納電子、MEMS、PCB、 光學(xué)電子、光學(xué)制造、汽車電子、醫(yī)療產(chǎn)品、生命科學(xué)、食品行業(yè)等領(lǐng)域,可對各種材料的表面進行有機物去除、清潔、靜電消除,化學(xué)修飾或涂層沉積。
等離子清洗機 灰化光刻膠聚合物剝離設(shè)備清潔、改性、光刻膠灰化
等離子清洗機除了具有材料表面清洗、表面活化、表面蝕刻、表面涂層外,還能去除有機物以及無機物的殘留物
等離子清洗機去殘膠以及內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應(yīng)用
等離子清洗機用于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓去膠、蝕刻,芯片粘接前處理、半導(dǎo)體封裝、BGA封裝、COB、COG、COF、ACF工藝有效去除表面油性污垢和有機污染物粒子,提升封裝穩(wěn)定性
等離子處理機清洗微電子元件,電路板上的鉆孔或銅線框架
等離子清洗機提高黏附性,消除鍵合問題
等離子清洗機能對Teflon特氟龍表面活化、硅膠、ABS、PP、PE、PC、PET表面活化以及其他塑料材質(zhì)清洗活化,提高材料粘接強度及印刷油墨、涂層、鍍層牢固度。
等離子清洗機產(chǎn)生親水或疏水表面
等離子清洗機廣泛用于1、等離子表面活化/清洗2、等離子處理后粘合3、等離子蝕刻/活化4、等離子去膠;5、等離子涂鍍(親水,疏水)6、增強邦定性7、等離子涂覆8、等離子灰化和表面改性等場合通過等離子清洗機 灰化光刻膠聚合物剝離設(shè)備處理,能夠改善材料表面的浸潤能力,使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂
等離子清洗機用于光刻膠剝離或灰化,作為干法清洗等離子清洗機可控性強,一致性好,不僅*去除光刻膠有機物,而且還活化和粗化晶圓表面,提高晶圓表面浸潤性
晶圓清潔 - 等離子清洗機用于在晶圓凸點工藝前去除污染,還可以去除有機污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化。
晶圓刻蝕 - 等離子清洗機預(yù)處理晶圓的殘留光刻膠和BCB,重新分配圖形介電層,線條/光刻膠刻蝕,等離子清洗機應(yīng)用于晶圓材料的附著力增強,去除多余的塑封材料/環(huán)氧樹脂,增強金焊料凸點的附著力,晶圓減壓減少破碎,提高旋涂膜附著力,清潔鋁焊盤。