一、產(chǎn)品介紹:
FH-12C專為腐蝕性氣體抽空設(shè)計(jì)的四級(jí)化學(xué)隔膜泵。FH-12C具有獨(dú)立八個(gè)泵頭作為抽力的來源,同時(shí)具有抽氣速度大和達(dá)1.5mbar的超高極限真空的優(yōu)點(diǎn)。所有與被抽氣體接觸部件均由耐酸堿的鐵氟龍材料制造,具的較強(qiáng)的化學(xué)耐腐蝕性和蒸汽耐受性。使用PTFE “三明治”夾層結(jié)構(gòu)的膜片增強(qiáng)了其可靠性和延長了其操作壽命。
FH-12C配備氣鎮(zhèn)口,在使用氣鎮(zhèn)時(shí)極限真空仍然能達(dá)到2mbar,氣鎮(zhèn)口除了作氣鎮(zhèn)使用,還可以用來輸入惰性氣體清洗腔室、膜片、閥片等,有效提升易損件的使用壽命;
FH-12C控制系統(tǒng)采用自主研發(fā)的高靈敏度的PID控制器和變頻器進(jìn)行控制,控制精度達(dá)到0.1mbar;變頻器工作時(shí)非常安靜且根據(jù)過程需要可實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,因此*地降低了能量消耗和維護(hù)需求
控制器使用大尺寸的電阻觸摸屏, 具有友好、簡單易懂的操作畫面。具備以太網(wǎng)口通訊接口和RS32通訊接口。
FH-12C使用的是電容式陶瓷薄膜傳感器,這種測試方法不依賴于氣體種類,且具有出色的耐化學(xué)腐蝕能力。
二、性能特性
適用環(huán)境:抽取化學(xué)腐蝕性的氣體或蒸汽
- 采用PTFE材質(zhì)“三明治”夾層結(jié)構(gòu)的膜片,超長的使用壽命。
- 內(nèi)部管路及附件都是采用耐酸的材質(zhì)。
- 維修間隔超長,維護(hù)成本低。
- 平滑的表面,易于清潔。
- 全新的密封系統(tǒng),降低了漏率,可獲得更好的極限真空。