高畫(huà)質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。通過(guò)高畫(huà)質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立*科技。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實(shí)現(xiàn)了3kV加速電壓7nm分辨率的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的實(shí)時(shí)立體觀察功能以及更高檢測(cè)效率的UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器。
SU3500所具備的新型的模擬圖像和改進(jìn)后的電子光學(xué)系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時(shí),SE圖像可達(dá)7nm,5KV電壓時(shí),BSE圖像可達(dá)10nm。新開(kāi)發(fā)的自動(dòng)多級(jí)電子槍偏壓機(jī)構(gòu)能夠在不降低電子束大小的情況下,在一定范圍內(nèi)的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。
SU3500的用戶界面使工作效率得到*的提高。它的顯示器像素為:大1,920×1,200像素 ,采用24.1英寸寬屏顯示器,提高了可視性和操作性,寬屏顯示器不僅使得單一模式下的顯示尺寸更大,而且還可為種用途實(shí)現(xiàn)多種顯示模式。用戶可以通過(guò)菜單操作選擇單幅圖像、雙幅圖像、四幅圖像以及全屏幕圖像顯示。
它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
掃描電子顯微鏡
主要特點(diǎn) |
· 低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高,可更好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
· 全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
· 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比,自動(dòng)功能縮短了大約11秒
· 具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀的超高靈敏度可變壓力探測(cè)器.新開(kāi)發(fā)的超高靈敏度可變壓力探測(cè)器得以進(jìn)一步優(yōu)化,特別是在可變壓力模式下觀察超薄表面的微觀結(jié)構(gòu)方面。通過(guò)同時(shí)觀察從標(biāo)準(zhǔn)BSE探測(cè)器得到的組成圖像,使得在多種應(yīng)用下進(jìn)行的各種各樣的分析都成為可能。振木先生以銅礦物、樹(shù)脂填料、水虱等圖像為例真實(shí)的再現(xiàn)了SU3500的這項(xiàng)功能。
· 新設(shè)計(jì)的真空程序使真空范圍可以達(dá)到6-650Pa,實(shí)時(shí)真空反饋允許在用戶特定的壓力設(shè)定下保持樣品室的快速的真空穩(wěn)定性。在低真空模式下直接觀察更清晰。
· 具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的實(shí)時(shí)立體觀察功能
· 多功能樣品室能容納各種樣品.
樣品座/真空系統(tǒng):支持多種觀察的樣品座:有適用于14和33(12.7毫米樣品托)個(gè)樣品的多用途樣品座。還有為特定目的而準(zhǔn)備的樣品座。擇樣品托號(hào)碼,按移動(dòng)鍵即可將選好的位置移動(dòng)到畫(huà)面中心。